知識 なぜSEM撮影の前に対象物を金でコーティングするのか?5つの主な理由
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 3 months ago

なぜSEM撮影の前に対象物を金でコーティングするのか?5つの主な理由

SEMイメージングの前に対象物を金でコーティングすることは、いくつかの理由から非常に重要です。

SEMイメージングに金コーティングが不可欠な5つの主な理由

なぜSEM撮影の前に対象物を金でコーティングするのか?5つの主な理由

1.導電性の向上と帯電防止

非導電性材料は、SEMの電子ビームによって誘起される電荷を効果的に散逸させることができません。

そのため、試料表面に電荷が蓄積し、静電場が発生して入射電子ビームが偏向し、画像が歪んでしまいます。

導電性の高い金の薄膜で試料をコーティングすることで、電荷が表面から効果的に伝導され、歪みが防止され、安定したイメージング環境が確保されます。

2.信号対雑音比の向上

金は二次電子の収率が高く、一次電子ビームを照射された際に多くの二次電子を放出する。

この二次電子は、SEMで画像を形成するために非常に重要です。

二次電子の収率が高いほど信号が強くなり、S/N比が向上して画像の鮮明度と細部が改善されます。

これは、特に高倍率で鮮明で鮮明な画像を得るのに有効である。

3.ビームダメージと局所加熱の低減

試料を金でコーティングすることは、局所的な加熱とビーム損傷の軽減にも役立ちます。

金属コーティングは、電子ビームと試料表面との直接的な相互作用を最小限に抑えるバリアとして機能し、過熱による損傷のリスクを低減します。

これは、イメージング中に発生する熱によって損傷しやすい、生物学的試料のようなデリケートな試料にとって特に重要である。

4.均一なコーティングと互換性

金は、その低仕事関数と様々な種類の試料との適合性により、SEM試料のコーティングに広く使用されています。

大面積に均一に塗布できるため、試料全体で一貫したイメージング条件を確保できます。

さらに、金のコーティングは一般的に薄いため(2~20 nm)、試料の表面特徴との潜在的な干渉を最小限に抑えることができます。

5.デリケートな試料の保護

要約すると、SEM撮像前に対象物を金でコーティングすることは、非導電性試料を歪み、損傷、細部の損失なしに効果的に撮像できるようにするために不可欠です。

このプロセスは、試料の導電性を高め、帯電を防止し、画質を向上させ、潜在的なビーム損傷から試料を保護します。

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