XRF（蛍光X線）厚さ測定は、X線と材料の相互作用を利用して厚さを測定する技術です。
X線が材料に照射されると、材料中の原子が蛍光として知られる二次X線を放出します。
この蛍光の強度は材料の厚さに直接関係する。
放出されたX線の強度を分析することで、材料の厚さを正確に測定することができます。
蛍光X線厚さ測定の原理とは？4つのポイントを解説
1.X線と材料の相互作用
X線が物質に当たると、物質中の原子と相互作用します。
この相互作用によって原子が励起され、材料に含まれる元素に特徴的な特定の波長のX線を放出します。
この過程は蛍光X線として知られている。
2.蛍光強度の測定
放出されたX線の強度は、蛍光X線スペクトロメーターで測定されます。
分光計は放出X線の特徴的な波長を検出し、その強度を定量化します。
放出されるX線の強度は、材料に含まれる元素の量に比例し、材料の厚さに関係します。
3.厚さとの相関
蛍光X線厚さ測定の原理は、材料の厚さが増すにつれて蛍光強度が減少することです。
これは、X線がより多くの材料を透過しなければならないため、強度が減衰するためです。
XRFスペクトロメーターを既知の厚さで校正することにより、未知のサンプルの厚さを正確に測定することができます。
4.利点と限界
XRF厚さ測定は、非破壊で高速であり、さまざまな材料に使用できます。
しかし、厚みと組成が既知の標準試料による校正が必要です。
精度は、材料の組成や表面粗さに影響されることがあります。
さらに、XRFは薄い層（通常、厚さ数マイクロメートルまで）の測定に効果的です。
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