XRF（蛍光X線）の厚さ測定の原理は、X線と検査対象の材料との相互作用に基づいています。X線が材料に照射されると、材料中の原子が蛍光として知られる二次X線を放出します。この蛍光の強度は、材料の厚さに直接関係します。放出されたX線の強度を分析することで、材料の厚さを正確に決定することができます。
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X線と材料の相互作用:X線が物質に当たると、物質中の原子と相互作用します。この相互作用によって原子が励起され、材料に含まれる元素に特徴的な特定の波長のX線を放出します。このプロセスは蛍光X線として知られています。
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蛍光強度の測定:放出されたX線の強度は、蛍光X線スペクトロメーターで測定されます。分光計は放出X線の特徴的な波長を検出し、その強度を定量化します。放出されるX線の強度は、材料に含まれる元素の量に比例し、材料の厚さに関係します。
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厚さとの相関:蛍光X線厚さ測定の原理は、材料の厚さが増すにつれて蛍光強度が減少することです。これは、X線がより多くの材料を透過しなければならないため、強度が減衰するためです。XRFスペクトロメーターを既知の厚さで校正することにより、未知のサンプルの厚さを正確に測定することができます。
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利点と限界:XRF厚さ測定は、非破壊で高速であり、さまざまな材料に使用できます。しかし、厚みと組成が既知の標準試料による校正が必要であり、精度は材料の組成や表面粗さに影響される可能性がある。さらに、XRFは薄い層（通常、厚さ数マイクロメートルまで）の測定に効果的です。
要約すると、蛍光X線厚さ測定は、材料がX線に曝されたときに放出されるX線の蛍光を利用する技術である。この蛍光の強度を測定し、材料の厚さと相関させることで、コーティングや薄膜の厚さを非破壊で比較的短時間で測定することができます。
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