走査型電子顕微鏡(SEM)用の金属コーティングは、通常、金(Au)、金/パラジウム(Au/Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、クロム(Cr)、イリジウム(Ir)などの導電性金属の極薄層を塗布する。スパッタコーティングとして知られるこのプロセスは、非導電性または導電性の低い試料に対して、帯電を防止し、S/N比を向上させることで画像の質を高めるために極めて重要である。
詳しい説明
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金属コーティングの目的
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SEMでは、非導電性または導電性の低い試料に金属コーティングを施します。これは、このような試料が静電場を蓄積し、帯電効果によって画像が歪んだり、電子ビームが妨害されたりする可能性があるためです。試料を導電性金属でコーティングすることで、これらの問題が軽減され、より鮮明で正確なイメージングが可能になります。使用される金属の種類
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- スパッタコーティングに最も一般的に使用される金属は、導電性が高く、粒径が小さいため、高解像度イメージングに最適な金です。分析の具体的な要件や超高解像度イメージングの必要性に応じて、プラチナ、銀、クロムなどの他の金属も使用される。例えば、プラチナは二次電子収率が高いためよく使用され、銀は可逆性という利点があり、特定の実験セットアップで有用である。金属コーティングの利点
- ビームダメージの低減： 金属コーティングは、電子ビームによるダメージから試料を保護することができます。
- 熱伝導の向上： 電子ビームによって発生する熱を逃がし、試料の熱損傷を防ぎます。
- 二次電子放出の改善： メタルコーティングは、SEMのイメージングに重要な二次電子の放出を促進します。これにより、S/N比が向上し、鮮明な画像が得られます。
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ビーム透過の低減とエッジ分解能の向上： メタルコーティングは、試料への電子ビームの侵入深さを低減し、試料のエッジの分解能を向上させます。
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コーティングの厚さ
スパッタされた金属膜の厚さは、通常2～20 nmです。最適な膜厚は、試料の特性やSEM分析の要件によって異なります。例えば、帯電の影響を低減するには薄いコーティングで十分な場合もあれば、エッジ分解能や二次電子収率を向上させるには厚いコーティングが必要な場合もあります。
様々な試料への適用
