1段真空ポンプは1組のローターとベーンで作動し、2段真空ポンプは2組のローターとベーンを使用し、低真空段と高真空段を可能にする。主な違いは、異なる真空レベルを達成する能力と、様々な圧力範囲での効率にあります。
一段真空ポンプ:
一段真空ポンプは、一般的に機械式ポンプで、一組のローターとベーンで作動します。大気圧(約10^5Pa)からより低い圧力(通常は約10Pa)まで引き下げるように設計されている。しかし、その効率は20torr(約2.67kPa)以下の圧力で低下し始める。このタイプのポンプは、大まかな低真空圧力範囲に適しており、真空システムの一次(バック)ポンプとして使用されることが多い。二段式真空ポンプ:
2段真空ポンプは、2組のローターとベーンを持ち、低真空段と高真空段の2段運転が可能です。高真空ステージはプロセスガスを取り込み、低真空ステージに移し、大気圧まで圧縮します。この二段設計により、ポンプはより深い圧力レベルとより優れた真空性能を達成することができ、超高真空(UHV)レベルを必要とするアプリケーションに適しています。二段真空ポンプは、一段真空ポンプと比較して、より低い圧力でより効率的です。
まとめると、1段真空ポンプと2段真空ポンプの主な違いは、その設計と達成できる真空レベルです。1段ポンプは粗い低真空アプリケーションに適していますが、2段ポンプはより深い真空レベル用に設計されており、より効率的で超高真空条件を達成することができます。