XRF分析は、固体試料、粉末試料、液体試料など、さまざまな種類の試料に対して行うことができます。正確で信頼性の高い結果を得るためには、それぞれのタイプに特有の前処理法が必要です。
固体試料
金属、合金、スクラップなどの固体試料は、測定用に平らできれいな表面が必要です。前処理では、表面が分析に適していることを確認します。蛍光X線分析装置には、エネルギー分散型（ED-XRF）または波長分散型（WD-XRF）があり、必要とされる複雑さと分解能に応じて使用されます。ED-XRFはよりシンプルで複数の元素を同時に分析でき、WD-XRFは分解能が高いが複雑で高価である。粉末試料
粉末試料は、土壌、鉱石、自己触媒のような不均質な材料から得られることが多く、代表的な試料を確保するために粉砕と均質化が必要です。このプロセスでは通常、材料を粉砕してサイズを小さくし、次に微粉末にするために粉砕する。この粉末をプレスしてペレットにするか、融解してガラスディスクにし、分析を行う。この方法は、試料が均一で、元の試料を代表するものであることを保証し、正確な元素分析に不可欠である。
液体試料
石油製品などの液体試料は、直接または適切な容器に入れてから分析します。容器は干渉や汚染を防ぐため、蛍光X線分析に適合していなければなりません。液体サンプルは、蒸発や汚染を防ぐために、フロースルー・セルや密閉容器を使用して分析されることがよくあります。
準備に関する注意事項
