薄膜蒸着で一般的に使用される蒸着材料には、金属、酸化物、化合物などがある。これらの材料にはそれぞれ特有の利点があり、アプリケーションの要件に基づいて選択されます。
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金属:金属は熱伝導性と電気伝導性に優れているため、薄膜蒸着によく使用されます。そのため、熱や電気を効率的に伝達・管理する必要がある用途に最適です。使用される金属の例としては、金、銀、銅、アルミニウムなどがあり、それぞれ耐腐食性や優れた導電性などの特定の特性によって選択されます。
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酸化物:酸化物もまた、蒸着プロセスで使用される一般的な材料の一種です。酸化物は、耐摩耗性や耐腐食性といった保護的な性質が評価されています。蒸着に使用される一般的な酸化物には、二酸化ケイ素（SiO2）、酸化アルミニウム（Al2O3）、二酸化チタン（TiO2）などがあります。これらの材料は、マイクロエレクトロニクスや光学コーティングなど、バリア層や保護層が必要な用途でよく使用される。
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化合物:化合物は、金属や酸化物だけでは達成できない特定の特性が必要な場合に使用される。特定の光学的特性、電気的特性、機械的特性などを持つように設計することができる。例えば、様々な窒化物（窒化チタン、TiNなど）や炭化物があり、硬度や耐摩耗性から切削工具や耐摩耗性コーティングへの応用に適しています。
薄膜蒸着に使用する材料の選択は、コーティングに求められる物理的、化学的、機械的特性や、基材との適合性、蒸着プロセスそのものなどの要因を考慮し、極めて用途に特化したものである。イオンビーム蒸着、マグネトロンスパッタリング、熱または電子ビーム蒸着などの蒸着技術は、材料特性、所望の膜の均一性と厚さに基づいて選択されます。
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