石英は加熱されるといくつかの変化を起こし、シリコン(Si)の生産に大きな影響を与えます。ここに詳しい説明がある:
要約
石英を加熱すると、軟化や再結晶の可能性など、石英の性質に変化が生じ、様々な工業用途、特にシリコンの製造において、石英の純度や機能性に影響を及ぼす可能性がある。
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詳細説明軟化と熱膨張:
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石英、特に溶融石英は、高い軟化点(約1270℃)と低い熱膨張係数を持つ。しかし、軟化点に近い温度に長時間さらされると石英が軟化し、変形や形状・構造の変化を引き起こす可能性がある。これは、マイクロ波管炉のような用途では非常に重要であり、石英管は損傷を防ぐために摂氏1200度で3時間以上使用してはならない。
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再結晶と炭化ケイ素の形成:
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高温プロセス中、石英は再結晶を起こし、炭化ケイ素の細粒を形成することがある。このプロセスは、炭化ケイ素発熱体の形成において非常に重要であり、粒と粒の間に形成される接続の数が材料の電気抵抗に直接影響します。粒と粒の間に形成される接続の数は、材料の電気抵抗に直接影響します。接続の数が多いほど抵抗は低くなり、発熱体の効率的な機能に不可欠です。純度と化学的安定性:
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石英の高純度は半導体製造に不可欠である。この産業で使用される石英は、製造過程で有害な金属が混入するのを防ぐため、極めて高いSiO2含有率(少なくとも99.9%)でなければなりません。加熱による石英の変化は、その純度に影響を与える可能性があり、シリコンの製造における汚染につながる可能性があります。
耐熱衝撃性と耐腐食性:
石英は熱衝撃や腐食に強いことで知られています。しかし、不適切な加熱や急激な温度変化は、これらの特性を損ない、ひび割れなどの劣化を引き起こす可能性があります。これは、シリコン製造に使用される炉のような高温環境における石英部品の寿命や性能に影響を与える可能性があります。