SEM（走査型電子顕微鏡）用の金コーティングは、画質を向上させ、サンプルの損傷を防ぐために非常に重要です。
SEM用金コーティングに関する5つの重要な洞察
1.厚さの範囲
SEM用金コーティングの一般的な厚さは、2～20ナノメートル（nm）です。
2.スパッタコーティングプロセス
この極薄の金層は、スパッタコーティングと呼ばれるプロセスで塗布されます。
3.コーティングの目的
このコーティングの主な目的は、試料の帯電を防ぎ、二次電子の検出を高めることである。
4.金の利点
金は仕事関数が小さいため、コーティングに非常に効率的であり、最も一般的に使用される材料である。
5.特定の用途
金/パラジウム(Au/Pd)で6インチ・ウェハーをコーティングするような特定の用途では、3nmの厚さが使用された。
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