技術チーム · Kintek Solution

はい。SEMでは、特に非導電性または導電性の低い特定の種類の試料にスパッタコーティングが必要です。スパッタコーティングは、帯電を防止し、SEM画像の品質を向上させるために、導電性金属の極薄層を試料に塗布します。

説明

1. 帯電の防止： 非導電性または導電性の低い試料は、走査型電子顕微鏡（SEM）の電子ビームを受けると静電場が蓄積されます。この蓄積は帯電と呼ばれ、画像を歪ませ、SEMの動作を妨げる可能性があります。スパッタコーティングにより導電性コーティングを施すことで、電荷を放散させ、画像の歪みを防ぎ、鮮明な画像を得ることができます。

2. 画質の向上： スパッタコーティングは帯電を防ぐだけでなく、試料表面からの二次電子の放出を増加させます。この二次電子放出の増加は、SEMにおいて高品質で詳細な画像を得るために重要なS/N比を向上させます。一般的に使用されるコーティング材料は、金、金/パラジウム、白金、銀、クロム、イリジウムなどで、導電性と、試料の細部を不明瞭にしない安定した薄膜を形成する能力を考慮して選択されます。

3. 困難なサンプルへの適用 ある種のサンプル、特にビームに敏感なサンプルや非導電性のサンプルは、スパッタコーティングの恩恵を大きく受けます。このような試料は、SEMで損傷を与えたり、帯電や低信号のために質の悪い画像を生成することなく、効果的に画像化することが困難な場合があります。

結論

スパッタコーティングは、非導電性材料や導電性の低い材料を扱う場合に、SEMに必要な試料前処理技術である。これにより、試料が電子ビーム下で帯電しないため、画像の完全性が維持され、ナノスケールレベルでの正確で詳細な観察が可能になります。