真空レベルが重要でない場合は、1段真空ポンプが適している場合があります。単段ベーンポンプは一般的に大気圧の直接排気用に使用され、大まかな真空を得ることができます。
一方、より深い圧力とより優れた真空性能が必要な場合は、2段式真空ポンプをお勧めします。二段式は、二組のローターとベーンで構成され、低真空段と高真空段を利用することができます。高真空ステージはプロセスガスを取り込み、それを大気圧まで圧縮する第二の低真空ステージに移送し、全体的な真空性能を向上させます。
工業用真空ポンプの真空レベルは超高真空(UHV)タイプに分類される。UHVポンプは、圧力が約100ナノパスカル(10-7パスカル、10-9mbar、~10-9torr)より低く、通常2段真空ポンプです。これらのポンプは、より高い真空レベルを達成することができ、より高いレベルの真空が必要な産業用途に適しています。
真空ポンプを選択する際には、特定の用途に必要な真空/圧力のレベルを決定することが重要です。実験室用/ろ過用真空ポンプは一般的な用途や特定の用途に適しており、粗真空ポンプは10-3 Torr以下の真空レベルを必要とする用途に使用されます。高真空ポンプは、より高い真空レベルを必要とする用途に使用されます。
潤滑ポンプか無潤滑ポンプかの選択は、システムの特定の要件によって異なります。潤滑式ポンプは、大容量、高真空レベル、低騒音を実現しますが、システムを汚染する可能性があり、メンテナンスがより必要になります。無潤滑ポンプは、メンテナンスの必要性が低く、クリーンなシステムに適しています。
ドライポンプは、オイルシール式ロータリーベーンポンプよりも優れているため、ますます人気が高まっています。ドライポンプは、プロセスガスや環境を汚染せず、低レベルの騒音を発生し、サービス間隔が長く、コストのかかるオイル交換や廃棄が不要です。
要約すると、1段式真空ポンプか2段式真空ポンプかの選択は、特定の用途に必要な真空レベルと性能によって決まります。単段ポンプはそれほど要求の高くない真空レベルに適しているかもしれませんが、2段ポンプはより深い圧力とより優れた真空性能のために推奨されます。真空ポンプを選択する際には、潤滑、メンテナンス要件、環境への配慮などの要素も考慮する必要があります。
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