単段真空ポンプの原理は、真空を作り出すためにポンピングチャンバーの容積を増減させる周期的なプロセスを中心に展開します。これは通常、ポンプのタイプによって、ダイアフラムの動きまたはベーンの回転によって達成されます。
ダイアフラム真空ポンプ
ダイアフラム真空ポンプでは、ダイアフラムはポンプヘッドとケーシング壁の間に張力がかかっています。このダイアフラムはコネクティングロッドと偏心機構により振動し、ポンプ室の容積を周期的に変化させます。膨張期には吸気弁が開き、ガスが流入する。逆に圧縮期には排気弁が開き、ガスを大気に放出する。ダイアフラムはシールとして機能し、ポンピングチャンバーにオイルや潤滑剤がないことを保証し、ドライ圧縮真空ポンプとなります。この設計はアグレッシブな蒸気やガスの取り扱いに適しており、化学実験室での用途に最適です。ダイヤフラムポンプの限界：
ダイアフラムポンプの効率は、上死点に「デッドスペース」が存在し、ガスが排気ラインに移動できないために制限されます。このデッドスペースは、吸入圧力の低下に伴い、新たに吸入できるガス量の減少を引き起こし、容積効率の継続的な悪化をもたらします。単段ダイヤフラム真空ポンプは、この制限により、通常、約80mbarの最終圧力を達成することができます。
ロータリーベーンポンプ
ロータリーベーンポンプは、遠心力によって駆動され、取り付けられたスロットに出入りするベーンを備えた回転機構を使用して作動します。このポンプには、1段式と2段式があり、後者は大まかな真空を得ることができる。真空チャンバーはオイルで潤滑され、ベーンをチャンバー壁に密着させ、真空効果を高めます。
一般的な原理
