真空ポンプには大きく分けて1段式と2段式があります。
知っておきたい5つのポイント
1.ポンプ室の数
1段式真空ポンプはポンプ室が1つ。
2段式真空ポンプは、ポンプ室が2つ直列に接続されています。
2.圧縮比と真空度
両者の主な違いは、圧縮比と到達真空度です。
3.単段真空ポンプ
単段真空ポンプは、ポンプ室が直接大気に排気されます。
大まかな真空レベルまたは低真空レベルを達成することができ、通常は圧力約1ミリバールまでです。
このタイプのポンプは、一般的な工業プロセスなど、高真空レベルを必要としない用途によく使用されます。
4.二段式真空ポンプ
二段式真空ポンプは、二組のローターとベーンを使用します。
低真空ステージとして知られる第1ステージは、プロセスガスを取り込み、高真空ステージとして知られる第2ステージに移送します。
高真空ステージはガスを大気圧まで圧縮し、より良い真空レベルを実現します。
二段式真空ポンプは、通常10^-3から10^-4ミリバールの範囲で、より高い真空レベルを達成することができる。
5.用途と好ましい使用法
二段式真空ポンプは、超高真空(UHV)レベルの製造など、より高い真空レベルが必要とされる産業用途に好まれる。
UHV真空レベルは、約100ナノパスカル（10^-7パスカル、10^-9mbar、～10^-9torr）より低い圧力を特徴とする。
これらの真空レベルは、一般的に半導体製造、研究所、真空コーティングなどの産業で必要とされます。
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