真空ポンプオイル、特に拡散ポンプに使用されるシリコン系オイルは、引火性の観点からは比較的安全である。しかし、炭化水素系オイルは高温になると、その蒸気が空気と反応して爆発する可能性がある。シリコーン系オイルは、蒸気点が高く安定性が高いため、引火性や爆発の危険性が少なく好ましい。
詳細説明
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炭化水素ベースのオイル オイル拡散ポンプを備えた真空炉では、オイルは非常に高温に加熱され、しばしば240℃（464ºF）以上に達します。この温度では、炭化水素系オイルの蒸気が空気に触れると爆発する可能性があります。これは、高温の蒸気が空気中の酸素と爆発的に反応し、安全上の危険につながるためです。したがって、ポンプが高温で作動している間は、ポンプ内の充填ポートを決して開けず、システム内に空気が混入しないようにすることが極めて重要である。
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シリコンベースのオイル： 炭化水素ベースのオイルに伴う爆発リスクを軽減するため、最新の真空炉システムではシリコーンオイルが一般的に使用されています。シリコーンオイルは蒸気点が高く、高温での安定性が高いため、引火性と爆発のリスクが大幅に軽減されます。さらに、シリコーンオイルは、加熱中に空気に触れるとゲル化することがあるが、空気に触れても爆発する危険性はない。この特性により、シリコーンオイルは真空システム、特に高温を伴う用途での使用がより安全になっている。
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安全対策 安全性をさらに高めるため、真空炉システムにはさまざまな対策が施されている。例えば、ノズルアセンブリの上部にコールドキャップを取り付け、チャンバーに向かって移動するオイル蒸気を凝縮させることができます。さらに、ポンプの口には同心円状のシェブロンバッフルが使用され、より重い油蒸気を閉じ込めてチャンバー内への流出を防ぎます。これらの設計上の特徴は、油蒸気を封じ込め、引火性や汚染のリスクを低減するのに役立ちます。
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メンテナンスと運転 真空ポンプの適切なメンテナンスと運転は、安全性を確保するために不可欠です。最適な性能を維持し、ポンプを保護するためには、定期的なオイルの点検と交換が必要です。また、温度が高くなるとポンプの完全な真空を維持する能力が妨げられ、オイル蒸気の発火の危険性が高まるため、運転中はポンプを確実に冷却することが重要です。
まとめると、真空ポンプオイルは、特に高温において引火性のリスクをもたらす可能性がありますが、シリコンベースのオイルを使用し、安全対策を実施することで、これらのリスクを大幅に軽減することができます。真空炉の適切なメンテナンスと運転は、安全性を確保し、オイルの引火性に関連する事故を防止するために極めて重要です。
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