真空ポンプを校正するには、以下の手順に従ってください：
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アルティメットバキュームの確認:少なくとも1mbarの分解能を持つ正確な真空計を使用して、ポンプの極限真空を測定する。読み取り値は、ポンプの規定真空レベルより10mbar以上高い必要があります。ポンプの規定真空レベルより15mbar以上高い場合は、技術者に連絡し、修理するまでポンプを使用しないでください。
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騒音レベルの監視:ポンプに騒音が発生した場合は、真空ポンプのカップリングが摩耗または破損している可能性があります。このような場合は、技術者に連絡し、カップリングの交換を検討してください。
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コンポーネントの点検と保守:吸引フィルター、排気フィルター、Oリングなどの構成部品を定期的に点検・整備してください。詰まったフィルターを掃除または交換し、排気フィルターが正しく取り付けられていることを確認し、吸引バルブのOリングが外れた場合は、軽く伸ばして取り付け直す。
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空気漏れに対処する:ポンピングダウン後は電源を切り、ソレノイドバルブ、パイプの継ぎ目、真空ポンプの吸引バルブ、作業室周辺のシールガスケットにエア漏れがないか点検する。
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消耗部品の交換:ロータリーベーンが摩耗している場合は交換する。オイル漏れがある場合は、オイルリターンバルブをチェックし、メーカーの指示に従って清掃する。
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適切なポンプの選択:真空ポンプを選択するときは、最終真空度とポンピング速度仕様の間の性能を示すポンプ性能曲線を考慮してください。これが入手できない場合は、販売店または真空ポンプの担当者に特定の真空レベル（たとえば「x」Torr）での排気速度を尋ね、価格、納期、サービスの必要性、騒音レベルなどの要素とともに、このデータに基づいてモデルを比較します。
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ポンプを正しくセットアップする:ポンプを使用する前に、正しくセットアップされていることを確認する。これには、用途に適したポンプを選択すること、システムにしっかりと接続すること、真空計を取り付けて圧力を監視すること、ポンプを作動させて作動温度に到達させることなどが含まれます。
これらのステップに従うことで、真空ポンプが正しく較正され、効率的に動作することを確認できます。定期的なメンテナンスと点検は、問題を未然に防ぎ、ポンプの性能を維持するために非常に重要です。
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