拡散ポンプは、通常10^-2～10^-10 torrの高真空レベルを必要とする産業用途に不可欠です。
これらのポンプは、可動部品がないため耐久性と信頼性が高く評価されています。
沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、その分子を移動・冷却して空気を放出します。
この方法により、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの用途に適しています。
拡散ポンプはどこで使われるのか？4つの主な用途
1.作動原理
拡散ポンプが機械式ポンプと異なる点は、ピストンやフィンのような機械部品に依存して空気を置換しない点です。
その代わりに、沸騰させて蒸気を発生させる流体（多くの場合、オイルと呼ばれる）を利用します。
この蒸気は下方に向けられ、移動しながら空気分子を捕獲する。
取り込まれた空気は、次にポンプの別の部分に運ばれ、そこで冷却され、空気分子が液体から分離する。
このプロセスは、重力と蒸気の下降流の組み合わせによって駆動され、空気分子をポンプの底部に向かって効果的に移動させる。
2.用途
拡散ポンプが達成可能な高真空レベルは、さまざまな産業環境において不可欠です。
例えば、電子ビーム顕微鏡では、電子ビームを歪ませる可能性のある電子と空気分子の衝突を防ぐために高真空が必要である。
同様に、真空蒸着やコーティングにおいても、高真空は空気による汚染なしに材料が均一に蒸着されることを保証する。
真空炉では、酸化を防ぎ、正確な温度制御を達成するために、熱処理プロセスにおいて高真空条件は極めて重要である。
3.メンテナンスと互換性
拡散ポンプのメンテナンスには、オイルレベルのチェックとヒーターの動作確認が含まれます。
通常、管状エレメント、クラッシュプレート、クランププレートから成る加熱システムの設計は、正しく機能するよう慎重に調整する必要があります。
さらに、拡散ポンプは、真空を形成する初期段階において、ラフィングポンプ（機械式ポンプおよびブロワー）と組み合わせて使用されることが多い。
これらの荒引きポンプは、大気圧から中間レベルまでの最初のポンプダウンを処理し、その後、拡散ポンプが特定の用途で必要とされる超高真空レベルを達成するために引き継ぎます。
4.推奨メーカー
本書では、高品質の装置と業界における長年の評判で知られるバリアン社製のディフュージョンポンプの使用を推奨している。
このように米国製ポンプを推奨することは、重要な産業用途における信頼性と性能の重要性を強調している。
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