拡散ポンプは、通常10^-2～10^-10 torrの高真空レベルを必要とする産業用途で主に使用されます。これらのポンプは、可動部品がないため耐久性と信頼性が高く評価されています。沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、その分子を移動・冷却して空気を放出します。この方式により、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの用途に適している。
詳しい説明
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動作原理： 拡散ポンプが機械式ポンプと異なる点は、ピストンやフィンのような機械部品に頼らずに空気を置換する点です。その代わりに、沸騰させて蒸気を発生させる流体（多くの場合、油と呼ばれる）を利用します。この蒸気は下方に向けられ、移動しながら空気分子を捕獲する。取り込まれた空気は、次にポンプの別の部分に運ばれ、そこで冷却され、空気分子が液体から分離する。このプロセスは、重力と蒸気の下降流の組み合わせによって駆動され、空気分子をポンプの底部に向かって効果的に移動させます。
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用途 拡散ポンプは高真空レベルを達成できるため、さまざまな産業環境で不可欠です。例えば、電子ビーム顕微鏡では、電子ビームを歪ませる可能性のある電子と空気分子の衝突を防ぐために高真空が必要です。同様に、真空蒸着やコーティングにおいても、高真空は空気による汚染なしに材料が均一に蒸着されることを保証する。真空炉では、酸化を防ぎ、正確な温度制御を達成するために、熱処理プロセスにおいて高真空条件は極めて重要です。
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メンテナンスと互換性 拡散ポンプのメンテナンスには、オイルレベルのチェックとヒーターの動作確認が含まれます。通常、管状エレメント、クラッシュプレート、クランププレートから成る加熱システムの設計は、正しく機能するよう慎重に調整する必要があります。さらに、拡散ポンプは、真空を形成する初期段階において、ラフィングポンプ（機械式ポンプおよびブロワー）と組み合わせて使用されることが多い。これらの荒引きポンプは、大気圧から中間レベルまでの最初のポンプダウンを処理し、その後、拡散ポンプが特定の用途で必要とされる超高真空レベルを達成するために引き継ぎます。
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推奨メーカー 本文では、高品質の装置と業界における長年の評判で知られるバリアン社製の拡散ポンプの使用を推奨している。米国製ポンプを推奨することは、重要な産業用途における信頼性と性能の重要性を強調するものである。
要約すると、拡散ポンプは高真空条件を必要とする産業にとって不可欠であり、そのユニークな流体同伴メカニズムを活用して、さまざまな用途で信頼性と耐久性に優れた性能を発揮します。
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