真空ポンプの真空レベルとは、ポンプが達成できる圧力レベルのことである。
真空ポンプの種類によって真空レベルは異なります。
真空レベルは通常、異なる圧力範囲に分類されます。
1.ラフ真空
この範囲は10^3mbarから1mbar（760から0.75Torr）です。
2.中真空
1 mbar～10^-3 mbar（0.75～7.5^-3 Torr）の範囲。
3.高真空
10^-3 mbar～10^-7 mbar（7.5^-3～7.5^-7 Torr）の範囲。
4.超高真空
10^-7 mbar～10^-11 mbar（7.5^-7～7.5^-11 Torr）の範囲。
5.極高真空
10^-11 mbar (< 7.5^-11 Torr)以下。
極限真空とは、真空ポンプが提供できる最低圧力レベルのことです。
流量がゼロになり、ポンプが蒸気を移動できなくなるポイントです。
真空ポンプを選ぶ際には、特定の用途に必要な真空レベルを考慮することが重要です。
例えば、ダイヤフラム真空ポンプは0.3mbarまで、ロータリーベーン真空ポンプは2×10^-3mbarまで究極の真空度を提供することができます。
真空の深さは、達成された真空のレベルを指し、化合物の沸点に影響を与えます。
真空深度が大きいほど沸点が低くなります。
したがって、真空ポンプを選ぶ際には、使用する化合物の沸点を考慮することが重要です。
沸点の高い化合物を使用する場合は、真空深度の深い真空ポンプを購入する方が有利な場合があります。
工業用真空ポンプは超高真空（UHV）タイプに分類される。
UHVポンプは、約100ナノパスカル（10^-7パスカル、10^-9mbar、～10^-9torr）より低い圧力を特徴とする。
これらのポンプは通常2段真空ポンプである。
二段式真空ポンプは、工業用で超高真空レベルを達成しようとする場合に好ましい設計である。
2組のローターとベーンを備え、低真空ステージと高真空ステージを利用できる。
高真空ステージはプロセスガスを取り込み、ガスを大気圧まで圧縮する第二の低真空ステージに移送し、ポンプの真空性能を向上させます。
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