真空システムは、ガス圧が低下した空間を作り出し、維持するように設計されている。この圧力は大気圧よりもかなり低い。このシステムは、限られた空間から気体分子を除去または置換し、真空を作り出すことでこれを実現します。
4つの主要ステージ
1.真空生成の段階
最初の荒引き段階
プロセスは荒引きポンプから始まる。このポンプは数パスカルまでの大気圧で作動する。チャンバーが大気圧のときに使用される。その役割は、管理可能なレベルまで素早く圧力を下げることです。
高真空ステージ
圧力が十分に下がったら、高真空ポンプを使用する。これは拡散ポンプまたはターボ分子ポンプである。これらのポンプは、10億分の1パスカルの範囲の圧力を達成する。これらのポンプは非常に低い圧力を扱うように設計されており、通常は粗圧ポンプと直列に接続されている。
2.真空ポンプの種類
容積式ポンプ
このポンプは、機械的に気体を封じ込め、チャンバーから排出します。低真空や中真空を作るのに有効です。
運動量移送ポンプ
流体または機械装置の運動エネルギーを利用して、気体分子をチャンバーから押し出します。低圧領域を形成する。
巻き込みポンプ
凝縮、昇華、イオン化などのプロセスにより気体分子を捕捉します。非常に高い真空度に使用される。
3.真空の制御とメンテナンス
真空システムには様々なバルブやゲージが装備されている。これらはガスの流れを制御し、チャンバー内の圧力をモニターする。油やその他の汚染物質がチャンバー内に逆流するのを防ぐには、これらのバルブを適切にシーケンスすることが重要である。
システムには、トラップとホールディングポンプも含まれる。これらは拡散ポンプのフォアラインを低圧に保ちます。これにより、真空の完全性が確保される。
4.用途と利点
真空を作り出すことで、さまざまな応用が可能になる。薄膜コーティング、真空炉、粒子加速器などです。低圧環境は汚染を最小限に抑え、熱蒸発率を高めます。そのため、精密な化学組成や特殊な薄膜に最適です。
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