スパッタコーティングガラスは、スパッタ蒸着と呼ばれるプロセスで薄く機能的なコーティングを施したガラスである。このプロセスでは、スパッタリングカソードを帯電させてプラズマを形成し、ターゲット表面からガラス基板上に材料を放出させる。コーティングは分子レベルで施され、原子レベルで強固な結合を作るため、単なるコーティングではなく、ガラスの永久的な一部となる。
スパッタコーティングは、安定したプラズマを発生させるため、均一で耐久性のある成膜が可能です。この方法は、ソーラーパネル、建築用ガラス、マイクロエレクトロニクス、航空宇宙、フラットパネルディスプレイ、自動車産業など、様々な用途で一般的に使用されている。
ガラスコーティングでは、低放射線コーティングガラス(Low-Eガラスとも呼ばれる)の製造にスパッタリングターゲットが使用される。この種のガラスは、その省エネ特性、光を制御する能力、美的魅力のため、建築物において人気がある。スパッタコーティング技術は、再生可能エネルギーへのニーズの高まりから需要の高い、第三世代の薄膜太陽電池の製造にも採用されている。
しかし、フロートガラスの製造工程とは別に(オフラインで)施されるスパッタリング・コーティングは、ひっかき傷や損傷、化学的脆弱性を生じやすい「ソフト・コーティング」となることに注意することが重要である。このような市販のスパッタリング・コーティングは、通常真空チャンバー内で施され、薄い金属膜と酸化膜の多層構造からなり、Low-Eスパッタリング・コーティングでは銀が活性層となります。
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