拡散ポンプとも呼ばれる拡散ポンプは、可動部のない真空ポンプの一種である。
沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕捉し、移動させる。
このポンプは流体同伴ポンプに分類され、ピストン、フィン、またはローブを使用して空気を置換する機械式ポンプとは異なります。
理解すべき5つのポイント
1.作動原理
拡散ポンプは、高速蒸気噴流から真空チャンバー内の気体分子への運動量伝達に依存しています。
一般的に油性の蒸気は、気化するまで加熱され、高速でノズルから噴射されます。
このジェットにより、チャンバー内のガス分子を掃引する高速流が発生し、効果的に圧力を下げることができる。
2.流体の種類
この文献では、拡散ポンプに使用される流体として、ポリフェニルエーテルとパーフルオロポリエーテルの2種類を挙げている。
ポリフェニルエーテルは蒸気圧が低く、電子線照射に対する耐性があるため、特定のハイテク用途に適している。
一方、パーフルオロポリエーテルは、フッ素を多く含む構造により不活性な化合物であり、さまざまな化学物質や環境要因に耐性がある。
しかし、その分解生成物は有毒であるため、取り扱いには注意が必要である。
3.メンテナンスと効率
拡散ポンプの運転は比較的メンテナンスフリーであり、主に使用するオイルの品質とレベルに注意を払う必要がある。
高品質のオイルは最適な性能を保証し、頻繁なメンテナンスの必要性を低減する。
オイルを気化させるのに重要なポンプの加熱システムも、定期的に点検し、適切に機能するようにしなければならない。
4.用途と性能
拡散ポンプは、10^-2～10^-10 torrの高真空レベルを達成することができます。
そのため、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適しています。
その耐久性と信頼性は、可動部品がないことに起因しており、操作とメンテナンスも簡素化されている。
5.ユニークなデザインと操作
拡散ポンプは、高真空を作り出すための堅牢で効率的なツールである。
気化した流体の運動エネルギーを利用して、チャンバーから気体分子を巻き込み、除去します。
その設計と動作は機械式ポンプとは一線を画し、さまざまな産業における高真空要件に独自のソリューションを提供します。
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