拡散ポンプとも呼ばれる拡散ポンプは、可動部のない真空ポンプの一種で、沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕捉・移動させる。このポンプは流体同伴ポンプに分類され、ピストン、フィン、またはローブを使用して空気を置換する機械式ポンプとは異なります。
動作の概要
拡散ポンプは、高速で気化した流体の運動エネルギーを利用して、真空チャンバーから出口に向かって気体分子を巻き込みます。オイルとも呼ばれる流体を加熱して蒸気を発生させます。この蒸気は下方に移動し、空気分子を捕獲してポンプの底部へと向かわせます。捕獲された分子は冷却され、二次チャンバーまたは排気システムに放出される。
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詳しい説明動作原理：
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拡散ポンプは、高速蒸気ジェットから真空チャンバー内の気体分子への運動量伝達に依存しています。蒸気は通常油性で、気化するまで加熱され、高速でノズルから噴射されます。このジェットがチャンバー内のガス分子を掃引する高速流を作り出し、効果的に圧力を下げます。流体の種類：
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参考文献では、拡散ポンプに使用される流体として、ポリフェニルエーテルとパーフルオロポリエーテルの2種類を挙げている。ポリフェニルエーテルは蒸気圧が低く、電子線照射に対する耐性があるため、特定のハイテク用途に適している。一方、パーフルオロポリエーテルは、フッ素を多く含む構造のため不活性な化合物であり、さまざまな化学物質や環境要因に耐性がある。しかし、その分解生成物は有毒であるため、取り扱いには注意が必要である。メンテナンスと効率：
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拡散ポンプの運転は比較的メンテナンスフリーで、主に使用するオイルの品質とレベルに注意が必要です。高品質のオイルは、最適な性能を保証し、頻繁なメンテナンスの必要性を低減します。オイルを気化させるために重要なポンプの加熱システムも、定期的に点検し、適切に機能するようにする必要があります。用途と性能
拡散ポンプは、10^-2～10^-10 torrの高真空レベルを達成できるため、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適しています。その耐久性と信頼性は、可動部品がなく、操作とメンテナンスが簡単であることに起因している。
結論として、拡散ポンプは高真空を作り出すための堅牢で効率的なツールであり、気化した流体の運動エネルギーを利用して気体分子をチャンバーに巻き込み、チャンバーから除去する。その設計と操作は機械式ポンプとは一線を画し、さまざまな産業における高真空要件に独自のソリューションを提供します。
