真空ポンプは、さまざまな産業および科学的用途に不可欠なツールである。真空ポンプは、密閉された容積から気体分子を取り除いて真空を作るのに役立ちます。ロータリーベーンポンプ、ルーツポンプ、オイル拡散ポンプ、ターボ分子ポンプです。それぞれのタイプは、特定の真空圧を達成するように設計されており、アプリケーションプロセスの要件に基づいて選択されます。
4種類の真空ポンプの説明
1.ロータリーベーンポンプ
ロータリーベーンポンプは、ローターに取り付けられた多数のベーンが、ローターの回転に伴ってポンプハウジングのスロットに出入りする機構を採用しています。ベーンは空気を捕捉して圧縮し、排気バルブから排出されます。これらのポンプは、通常5x10-2mbarまでの大まかな真空レベルを達成するのに効果的です。中程度の真空レベルを必要とする用途に広く使用され、その信頼性と耐久性で知られています。
2.ルーツポンプ（またはロータリーブロワーポンプ）
ルーツポンプは容積式の原理で作動し、近接した2つのローターが反対方向に回転し、気体を捕捉して排出します。これらのポンプは、ポンピング速度を高め、より高い真空レベルを達成するために、ロータリーベーンポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。特に、大量のガスを迅速に排出する必要がある用途に有用である。
3.油拡散ポンプ
オイル拡散ポンプは、高真空レベルを達成するために設計されています。オイル蒸気の高速ジェットを流入ガス分子に当てることで作動し、ガス分子は下方に導かれ、ポンプの底部に集められます。ガスはその後、バックポンプによって送り出されます。オイル拡散ポンプは、10-5mbarまでの真空レベルを達成することができ、科学研究や高真空工業プロセスで一般的に使用されている。
4.ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、高速回転するブレードを使用して気体分子に運動量を与え、気体分子をポンプの吸気口から排気口へと効果的に移動させます。これらのポンプは、通常10-9 mbarまでの非常に高い真空レベルを達成することができる。半導体製造や質量分析計のような分析機器など、超高真空を必要とするアプリケーションで使用されます。
これらのポンプタイプは、それぞれ特定の真空レベル範囲内で作動し、必要な真空レベル、ポンピング速度、取り扱うガスの性質など、アプリケーションの特定のニーズに基づいて選択されます。
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