一般的に使用される真空ポンプには、ロータリーベーンポンプ、ルーツポンプ、オイル拡散ポンプ、ターボ分子ポンプの4種類がある。それぞれのタイプは、特定の真空圧を達成するように設計されており、アプリケーションプロセスの要件に基づいて選択されます。
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ロータリーベーンポンプ:これらのポンプは、ローターに取り付けられた多数のベーンが、ローターが回転するにつれてポンプハウジングのスロットをスライドして出入りする機構を使用しています。ベーンは空気を捕捉して圧縮し、排気バルブから排出されます。ロータリーベーンポンプは、通常5x10-2 mbarまでの大まかな真空レベルを達成するのに効果的です。中程度の真空レベルを必要とする用途に広く使用され、その信頼性と耐久性で知られています。
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ルーツポンプ（またはロータリーブロワーポンプ）:このポンプは容積式の原理で作動し、近接した2つのローターが反対方向に回転し、気体を捕捉して排出します。ルーツポンプは、ポンピング速度を高め、より高い真空レベルを達成するために、ロータリーベーンポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。大量のガスを迅速に排出する必要がある用途で特に有用です。
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オイル拡散ポンプ:高真空レベルを達成するために設計されたポンプです。オイル蒸気の高速ジェットを流入ガス分子に当てることで作動し、ガス分子は下方に導かれ、ポンプ底部に集められます。ガスはその後、バックポンプによって送り出される。オイル拡散ポンプは、10-5 mbarまでの真空レベルを達成することができ、科学研究や高真空工業プロセスで一般的に使用されています。
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ターボ分子ポンプ:高速回転するブレードを使用し、気体分子に運動量を与え、吸気口から排気口へと効率的に気体分子を移動させます。ターボ分子ポンプは、通常10-9 mbarまでの非常に高い真空レベルを達成することができます。半導体製造や質量分析計のような分析機器など、超高真空を必要とするアプリケーションで使用されます。
これらのポンプタイプは、それぞれ特定の真空レベル範囲内で作動し、必要な真空レベル、ポンピング速度、取り扱うガスの性質など、アプリケーションの特定のニーズに基づいて選択されます。
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