真空ポンプに必要な真空レベルは、特定の用途によって大きく異なります。吸引、濃縮、真空乾燥、蒸留などの一般的な用途では、通常1mbarまでの真空度で十分です。このレベルの真空は、オイルフリーのダイヤフラムポンプで達成できます。しかし、凍結乾燥、焼結、エッチングのような特殊な用途では、1mbarをはるかに下回る低真空が必要です。このような場合、オイルシール式ロータリーベーンポンプと耐薬品性ダイアフラムポンプのどちらを選択するかは、腐食性蒸気や凝縮性蒸気に対する感度によって決まり、一般的にダイアフラムポンプの方が堅牢です。
真空ポンプを選択する際には、特定のプロジェクトに必要な極限真空（ポンプが達成可能な最低真空）を考慮することが極めて重要です。プロセスを最適化するには、必要なレベルに近い最終真空度のポンプを選ぶことが重要です。真空度が低すぎるポンプを使用するとプロセスが遅くなり、真空度が高すぎると不要な蒸発やプロセスの制御が困難になる可能性があります。
真空ポンプシステムのタイプも、用途と必要な運転真空レベルによって異なります。例えば、「ソフトバキューム」領域 (低ミクロンレベル) で動作する炉では機械式ポンプまたは機械式ポンプ/ブロワーシステムが使用され、「高バキューム」 (通常105～10-6 Torr) を必要とする炉では拡散またはターボ分子ポンプシステムが使用されます。
真空ポンプを購入する際に考慮すべき主な要因には、主に使用する溶媒の沸点によって決まる必要な真空圧と、希望する真空レベルがあります。例えば、ダイヤフラム真空ポンプは0.3mbarまで到達することができますが、ロータリーベーン真空ポンプは2×10-3mbarまでとはるかに低い真空度を達成することができます。さらに、真空深度は処理される化合物の沸点に影響するため重要である。沸点の高い化合物を処理する場合は、真空深度の深い真空ポンプが有利です。
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