スパッタリングターゲットは、材料の特性と用途に合わせた様々なプロセスを用いて製造される。一般的な方法には、真空ホットプレス、コールドプレスと焼結、真空溶解と鋳造などがある。工程は原材料の選択と準備から始まり、焼結または溶解による混合または合金化、そして目的の品質を達成するための粉砕が行われる。各生産ロットは厳格な分析試験を受け、出荷のたびに分析証明書が添付される。
詳しい説明
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材料の選択と準備
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製造工程は、スパッタリングターゲットの望ましい特性に基づき、適切な原材料を選択することから始まります。これらの原料は、金属、合金、または酸化物、窒化物、炭化物などの化合物であることが多い。これらの原材料の純度と品質は、スパッタリングターゲットの性能に直接影響するため極めて重要である。混合と合金：
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要件に応じて、原料は混合または合金化される。このプロセスは、一貫したスパッタリング結果を保証する均質な材料を作るために非常に重要である。混合は機械的手段で行うことができ、合金は多くの場合、制御された条件下で材料を一緒に溶かすことになる。
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焼結と溶解：
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混合または合金化の後、材料は焼結または溶融プロセスを経る。焼結は材料を融点以下に加熱して粒子同士を結合させるもので、溶融は材料を完全に液化して鋳造するものである。これらの工程は通常、汚染を防ぎ高純度を確保するため、真空または制御された雰囲気の中で行われる。成形と成形：
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焼結または鋳造された材料は、次に所望の形状（通常はディスクまたはシート）に成形される。これは、ホットプレス、コールドプレス、圧延、鍛造など、さまざまな方法で実現できる。どの方法を選択するかは、材料の特性とターゲットの仕様によって決まる。
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研磨と仕上げ
基本的な形状が形成されると、ターゲットは必要な寸法と表面仕上げを達成するために研削と仕上げの工程を経る。表面の欠陥は成膜の均一性と品質に影響するため、この工程はターゲットがスパッタリング工程で良好な性能を発揮するために極めて重要である。
品質管理と分析：
