二段式真空ポンプは、二組のローターとベーンを組み込んだ設計により、超高真空(UHV)レベルを達成するのに適している。
この設計により、低真空と高真空の両ステージでの運転が可能になります。
この二段運転により、より深い圧力に対応し、より優れた真空レベルを維持できるようになり、ポンプの性能が大幅に向上します。
二段式真空ポンプを使用する4つの主な利点
1.デュアルステージによる性能向上
二段式真空ポンプには、低真空ステージと高真空ステージの2つの異なるステージがあります。
高真空ステージは最初にプロセスガスを取り込み、低真空ステージに移送します。
ここでガスは大気圧まで圧縮され、全体的な真空性能が大幅に向上する。
この二段操作は、実験室設定や特定の工業プロセスなど、非常に低い圧力を必要とするアプリケーションにとって極めて重要である。
2.単段ポンプを超える利点
単段ポンプは、特定の用途で必要とされる深い真空レベルを達成するのに有効ではありません。
2段式設計は、より効率的なガス圧縮・排出方法を提供することでこれを補い、より低い最終圧力と優れた真空安定性をもたらします。
これは、半導体製造や科学研究など、真空環境の純度が重要なプロセスで特に重要です。
3.産業用途における汎用性
二段式真空ポンプは汎用性があり、ハイブリッド構成を必要とするものを含め、様々な産業システムに組み込むことができます。
例えば、液体リング真空ポンプやロータリーベーン真空ポンプを2段目として使用し、蒸気エジェクターや空気エジェクターを1段目として組み合わせたハイブリッドシステムを構築することができます。
このセットアップは、高いサービス液温度を管理し、ポンプに入る凝縮性蒸気の量を減らすことでポンプ能力を高めるのに有益である。
4.経済性と運転効率
二段真空ポンプは、初期投資が高いにもかかわらず、効率が高く、メンテナンスの必要性が低いため、長期的な経済的メリットがあります。
二段式真空ポンプは、通常のプロセス運転要件を効果的に処理できるように設計されており、また、ホギングにも使用できるため、動力蒸気が利用できない可能性のあるシステム始動時に有利である。
まとめると、二段真空ポンプの使用は、超高真空レベルの達成と維持におけるその優れた性能、様々な産業用途におけるその汎用性、および長期的な経済性と運転効率によって正当化されます。
そのため、重要なプロセスで深い真空レベルが要求されるシステムには不可欠なコンポーネントとなっています。
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