拡散ポンプが大気圧で使用されないのは、効果的に機能するためにはあらかじめ真空環境が必要だからである。これは、空気分子を捕捉するために沸騰流体の蒸気に依存しており、より高い圧力では効率的に動作できない設計と動作原理によるものです。
詳細説明
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拡散ポンプの動作要件
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拡散ポンプは、空気分子を巻き込むために沸騰流体の蒸気を使用して動作します。この流体の蒸気（通常はオイル）は上方に移動し、空気分子を捕獲し、ポンプの底部に向かいます。取り込まれた分子は、流体の蒸気が冷えると放出され、このプロセスが繰り返される。このメカニズムは、高真空を作り出すのに非常に効果的ですが、プロセスを開始するには、既存の低圧環境が必要です。バッキングポンプの必要性
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拡散ポンプは、大まかな真空領域と微細な真空領域での排気速度を持たないため、ロータリーベーンポンプやルーツポンプなどのバッキングポンプを使用する必要があります。これらのバッキングポンプは、大気圧レベルから拡散ポンプが作動を開始できる範囲まで圧力を下げることにより、初期の真空環境を作り出します。この初期真空がなければ、拡散ポンプの流体蒸気は空気分子を効果的に巻き込むことができず、ポンプは非効率となる。
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圧力レベルと効率：
拡散ポンプの効率は、通常8.0×10^-6Torrの範囲の非常に低い圧力で最適化される。大気圧では、空気分子の密度が高すぎるため、拡散ポンプは空気分子の捕獲と除去を効果的に行うことができません。このため、拡散ポンプは通常、多段真空システムの一部となり、初期段階で圧力を拡散ポンプの作動に適したレベルまで低下させます。
他のポンプとの比較
