真空ポンプは、様々な科学、工業、研究用途に不可欠なツールであり、使用するポンプのタイプは、特定の真空レベルとアプリケーションの要件によって異なります。粗真空用途(1mbar以上)には、オイルフリーでメンテナンスが少ないダイヤフラムポンプが理想的です。微真空用途(1 mbar~10^-3 mbar)には、オイルシール式ロータリーベーンポンプまたはオイルフリー式スクリューポンプが適しています。耐薬品性ダイアフラムポンプは、腐食性の強い溶剤を扱う場合に使用され、ロータリーベーンポンプやギアポンプは、凍結乾燥や回転蒸発のような強力な真空ニーズに適しています。ピストンポンプ、ダイアフラムポンプ、スクロールポンプなどのオイルフリーポンプは、抽出や膜ろ過に使用されます。超高真空用途では、ロータリーポンプとターボ分子ポンプの組み合わせが採用される。
ポイントを解説

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用途に応じた真空ポンプの種類:
- ダイヤフラムポンプ:粗真空用途(1mbar以上)に最適。オイルフリー、低メンテナンスで、液体吸引、ろ過、ロータリーエバポレーター、真空乾燥オーブンなどに使用されます。
- ロータリーベーンポンプ:微真空用途(1mbar~10^-3mbar)に適しています。これらはオイルシールされており、凍結乾燥、真空蒸留、質量分析に使用されます。
- 耐薬品性ダイヤフラムポンプ:固相抽出のようなアプリケーションでアグレッシブな溶媒を扱うために設計されています。
- ロータリーベーンポンプまたはギアポンプ:凍結乾燥や回転蒸発など、より強い真空を必要とする作業に使用されます。
- オイルフリーポンプ(ピストン、ダイアフラム、スクロールポンプ):抽出と膜ろ過に使用され、油のコンタミネーションを確実に防ぐ。
- ロータリーポンプとターボ分子ポンプの組み合わせ:超高真空アプリケーションに使用され、10^-6 mbarの低圧を達成します。
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真空レベルと対応するポンプタイプ:
- 粗真空(1mbar以上):ダイアフラムポンプはオイルフリーで信頼性が高いので最適です。
- 微真空 (1 mbar to 10^-3 mbar):油回転ベーンポンプまたはオイルフリースクリューポンプは、凍結乾燥や真空蒸留などの用途に適しています。
- 超高真空 (10^-3 mbar以下):ロータリーポンプとターボ分子ポンプの組み合わせは、質量分析のようなアプリケーションに不可欠な極低圧を達成するために使用されます。
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真空ポンプの用途:
- ダイヤフラムポンプ:液体吸引、ろ過、ロータリーエバポレーター、真空乾燥炉などに使用されます。
- ロータリーベーンポンプ:凍結乾燥、減圧蒸留、質量分析に採用。
- 耐薬品性ダイヤフラムポンプ:アグレッシブ溶媒を含む固相抽出に最適。
- ロータリーベーンポンプまたはギアポンプ:凍結乾燥と回転蒸発に適しています。
- オイルフリーポンプ:油のコンタミネーションを防ぐための抽出や膜ろ過に使用。
- ロータリーポンプとターボ分子ポンプの組み合わせ:高度な科学アプリケーションで超高真空を実現するために不可欠なもの。
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真空ポンプ選びのポイント:
- 真空レベル要件:必要な真空レベルによって、必要なポンプのタイプが決まります。例えば、粗真空用途にはダイアフラムポンプが必要ですが、微真空用途にはロータリーベーンポンプが必要です。
- 化学的適合性:耐薬品性ダイアフラムポンプ:耐薬品性ダイアフラムポンプは、腐食性の強い溶剤を使用する用途に適しています。
- オイルフリー運転:オイル汚染が懸念される用途では、ピストンポンプ、ダイアフラムポンプ、スクロールポンプなどのオイルフリーポンプが好まれます。
- メンテナンスと信頼性:ダイヤフラムポンプは、低メンテナンス性と信頼性で知られており、過酷な真空用途に適しています。
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先進真空システム:
- コンビネーションシステム:超高真空アプリケーションには、ロータリーポンプとターボ分子ポンプを組み合わせたシステムが使用される。これらのシステムには、ラフィング/バッキング/高真空ゲートバルブ、スロットルバルブ、精密な真空制御のためのマイクロプロセッサー・コントローラーが含まれます。
- 圧力モニタリング:高度なシステムでは、ピラニゲージとペニングゲージを組み合わせて使用し、真空レベルを正確に監視します。
希望する真空レベル、化学薬品への適合性、メンテナンスの必要性など、アプリケーションの具体的な要件を理解することで、最適な性能と効率を確保するために適切な真空ポンプを選択することができます。
まとめ表
真空レベル | ポンプタイプ | 用途 |
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ラフ真空 (>1 mbar) | ダイヤフラムポンプ | 流体吸引、ろ過、ロータリーエバポレーター、真空乾燥オーブン |
微真空 (1 mbar~10^-3 mbar) | ロータリーベーンポンプ、オイルフリースクリューポンプ | 凍結乾燥、真空蒸留、質量分析 |
超高真空 (<10^-3 mbar) | ロータリー+ターボ分子ポンプ | 先端科学用途、質量分析 |
耐薬品性 | 耐薬品性ダイアフラムポンプ | 固相抽出、侵食性溶媒の取り扱い |
オイルフリー操作 | ピストン、ダイアフラム、スクロールポンプ | 抽出、膜ろ過、油汚染防止 |
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