高真空を達成するためには、一般的にポンプの組み合わせが使用され、ターボ分子ポンプやオイル拡散ポンプが高真空レベルの主な選択肢となります。これらのポンプは、非常に低い圧力を達成するために特化されており、多くの場合、ロータリーベーンポンプやドライスクロールポンプなどのプレポンプと直列に使用されます。
ターボ分子ポンプ：
ターボ分子ポンプは、通常10^-7 mbar以下の非常に高い真空レベルで作動するように設計されています。回転翼を使用して、気体の流れ方向と反対方向に気体分子に運動量を与え、気体をシステムから効果的に汲み出します。これらのポンプはガスを除去する効率が高く、半導体製造、科学研究、宇宙シミュレーションチャンバーなど、超高真空を必要とする用途で一般的に使用されています。油拡散ポンプ：
オイル拡散ポンプは、高真空アプリケーションに使用されるもう一つのタイプのポンプです。油蒸気の高速ジェットをチャンバーの壁に当てることで作動し、凝縮してボイラーに戻ります。チャンバー内のガス分子は、オイル蒸気のジェットによって出口に向かって推進され、そこで回収・除去されます。これらのポンプは、10^-7 mbarまでの真空レベルを達成することができ、高真空が要求される科学・工業用途でよく使用されます。
ターボ分子ポンプも油拡散ポンプも、効果的に機能させるために、吸入口の圧力を十分に低く維持するためのバッキングポンプ（ロータリーベーンポンプなど）を必要とします。バッキングポンプは大まかな真空を作り出し、それを高真空ポンプでさらに精製して目的の超低圧を達成します。
