高真空を実現する場合、通常はポンプの組み合わせが必要です。
高真空レベルを実現するための主要な選択肢は、ターボ分子ポンプまたはオイル拡散ポンプであることが多い。
これらのポンプは非常に低い圧力を達成するように設計されており、通常、プレポンプと組み合わせて使用されます。
ロータリーベーンポンプやドライスクロールポンプなどのプレポンプは、高真空ポンプが効果的に機能するために必要な初期真空条件を作り出すのに役立ちます。
知っておくべき5つの重要事項
1.ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、通常10^-7 mbar以下の非常に高い真空レベルで動作するように特別に設計されています。
ターボ分子ポンプは、回転するブレードを使用して、気体の流れ方向と反対方向に気体分子に運動量を与えることで作動します。
これにより、効果的にガスをシステムから汲み出すことができ、このポンプはガスを除去するのに非常に効率的です。
ターボ分子ポンプは、半導体製造、科学研究、宇宙シミュレーション・チャンバーなど、超高真空を必要とする用途で一般的に使用されている。
2.油拡散ポンプ
油拡散ポンプも高真空用途に使用されるポンプの一種です。
油蒸気の高速ジェットをチャンバーの壁に当てることで作動する。
オイル蒸気は凝縮してボイラーに戻り、チャンバー内のガス分子は出口に向かって推進され、そこで回収・除去されます。
これらのポンプは、10^-7 mbarまでの真空レベルを達成することができ、高真空が要求される科学的・工業的用途によく使用される。
3.バッキングポンプ
ターボ分子ポンプも油拡散ポンプも、効果的に機能させるにはバッキングポンプが必要です。
ロータリーベーンポンプのようなバッキングポンプは、高真空ポンプの入口で粗真空を作ります。
この粗真空は、高真空ポンプによってさらに精製され、目的の超低圧を達成します。
4.ポンプの組み合わせ
高真空アプリケーションでは、ターボ分子ポンプまたはオイル拡散ポンプとバッキングポンプの併用が不可欠です。
このセットアップは、高真空条件が要求される様々な科学的・工業的プロセスにおいて極めて重要です。
5.アプリケーション
高真空セットアップは、半導体製造、科学研究、宇宙シミュレーションチャンバーを含む多くの分野で不可欠です。
これらのセットアップは、最も要求の厳しいアプリケーションの精度と信頼性を保証します。
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