拡散ポンプの真空レベルは、10^-6Torrの範囲の究極真空に達することができる。この高真空レベルは、オイル拡散ポンプを使用することで達成されます。オイル拡散ポンプは可動部品なしで作動し、オイルの気化と凝縮を利用してガス分子を捕捉・抽出し、高真空環境を作り出します。
説明
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動作原理:拡散ポンプは、オイルの気化に基づいて作動し、オイルは落下しながら凝縮する。このプロセスは、ガス分子の捕捉と抽出に役立ち、高真空を作り出すことにつながる。拡散ポンプには可動部品がないため、耐久性と信頼性が高く、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適しています。
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真空レベル:拡散ポンプは10^-2から10^-10 Torrの高真空を作り出すことができます。機械式ポンプは20Torr以下の圧力になると効率が低下するため、所望の真空レベルを得るためにはブースターポンプ、そして最終的には拡散ポンプを使用する必要があります。
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システム構成:拡散ポンプは通常、機械ポンプとホールディングポンプを含む多段真空システムの一部です。ホールディングポンプは、メカニカルポンプとディフュージョンポンプの間のクロスオーバーバルブが作動したときに、ディフュージョンポンプ内のオイルが容器内に漏れないようにする。この設定は、拡散ポンプによって達成される真空レベルの完全性を維持するために非常に重要です。
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炉への応用:真空炉のような工業用途では、ディフュージョンポンプを使用することで真空レベルを大幅に高めることができます。例えば、ディフュージョンポンプを装備した炉では、ディフュージョンポンプなしの50～60ミクロンHgに比べ、10^-5Torrの動作真空を達成することができます。この高真空レベルは、大気汚染物質のない非常にクリーンで制御された環境を必要とするプロセスには不可欠です。
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究極の真空:拡散ポンプ炉の極限真空度は通常10^-6 Torrの範囲にあり、機械式ポンプのみで達成できる真空度よりも大幅に低くなっています。このレベルの真空は、高精度の工業プロセスの適切な機能と効率を確保するために極めて重要です。
まとめると、拡散ポンプの真空レベルは、一般的に10^-6 Torrの範囲の極めて低い圧力を達成する能力によって特徴付けられ、これは、非常にクリーンで制御された環境を必要とする高精度の工業アプリケーションに不可欠です。
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