拡散ポンプの真空レベルは、10^-6 Torrの範囲の究極真空に達することができる。
この高真空レベルは、オイル拡散ポンプを使用することによって達成される。
このタイプのポンプは可動部品なしで作動し、オイルの気化と凝縮を利用して気体分子を捕捉・抽出する。
その結果、高真空環境を作り出します。
拡散ポンプの真空レベルとは?5つの重要な洞察
1.動作原理
拡散ポンプはオイルの気化に基づいて作動します。
このオイルは、落下しながら凝縮します。
このプロセスは、ガス分子の捕捉と抽出に役立ち、高真空の生成につながります。
拡散ポンプには可動部品がないため、耐久性と信頼性が向上します。
そのため、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適している。
2.真空レベル
拡散ポンプは、10^-2から10^-10 Torrまでの高真空を作り出すことができます。
この範囲は、機械式ポンプだけで達成できる真空度よりかなり低い。
機械式ポンプは通常、約10^-2 Paの圧力まで作動します。
機械式ポンプが20Torr以下の圧力に達すると、その効率は低下する。
このため、所望の真空レベルを達成するためには、ブースターポンプや最終的には拡散ポンプを使用する必要がある。
3.システム構成
拡散ポンプは通常、多段真空システムの一部である。
このシステムには、機械ポンプと保持ポンプが含まれる。
ホールディングポンプは、メカニカルポンプとディフュージョンポンプの間のクロスオーバーバルブが作動したときに、ディフュージョンポンプ内のオイルが容器内に漏れないようにする。
この設定は、拡散ポンプが達成する真空レベルの完全性を維持するために極めて重要である。
4.炉への応用
真空炉のような工業用途では、拡散ポンプを使用することで真空レベルを大幅に高めることができます。
例えば、拡散ポンプを装備した炉は、10^-5 Torrの範囲の動作真空を達成することができます。
これは拡散ポンプを使用しない場合の50-60ミクロンHgと比較した場合である。
この高い真空レベルは、大気汚染物質のない、非常にクリーンで制御された環境を必要とするプロセスには不可欠です。
5.究極の真空
拡散ポンプ炉の極限真空度は通常10^-6 Torrの範囲です。
これは、機械式ポンプのみで達成できる真空度よりも大幅に低い値です。
このレベルの真空は、高精度の工業プロセスの適切な機能と効率を確保するために極めて重要です。
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