最も一般的な真空ポンプはロータリーベーンポンプです。このポンプは、ベーンを取り付けたローターのあるキャビティで構成されています。ベーンはローターからスライドして出入りし、キャビティの縁をシールして真空を作り出します。ロータリーベーンポンプは、化学や生物学の研究室で中真空から高真空の用途に広く使用されています。
その他の真空ポンプには、ダイヤフラムポンプ、液体リングポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプなどがあります。真空ポンプの選択は、特定の真空要件だけでなく、価格や技術の堅牢性などの要因によって異なります。例えば、ダイアフラムポンプはオイルフリー真空が必要な用途に好まれ、スクロールポンプはドライでオイルフリーの真空を提供するためクリーンルーム用途に理想的です。
また、真空ポンプには潤滑方法によるカテゴリーもあります。ダイアフラムポンプ、ピストンポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプなどのドライポンプは、クリーンな真空を提供し、メンテナンスはほとんど必要ありません。水潤滑式ポンプは、低い初期コストで大まかな真空が得られますが、水蒸気に敏感なシステムには適さない場合があります。ロータリーベーンポンプやギアポンプなどの油潤滑式ポンプは、高い排気速度と幅広い最終真空度が得られるが、定期的なメンテナンスとオイル交換が必要である。
全体として、真空ポンプの選択は、特定のアプリケーション要件、オイルフリー真空の必要性、およびメンテナンスと初期費用に利用可能な予算に依存します。
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