拡散ポンプは、高真空環境を作り出すために使用される重要な機器である。
気化した流体の運動エネルギーを利用して、チャンバー内のガス分子を巻き込み、除去します。
可動部品を使用して空気を置換する機械式ポンプとは異なり、拡散ポンプは流体(通常はオイル)を気化させることで作動します。
この蒸気が空気分子を捕らえ、より温度の低い場所に運び、そこで放出される。
このプロセスは、蒸気流の勢いと冷却効果を利用して、チャンバーから効率的に排気します。
拡散ポンプの機能とは?理解すべき5つのポイント
1.作動原理
ディフュージョンポンプは、流体同伴の原理で作動します。
沸騰する流体の蒸気が空気分子を取り込みます。
これは、ピストンやブレードのような物理的なメカニズムを使用して空気をチャンバーから押し出す機械式ポンプとは対照的です。
拡散ポンプでは、流体(油と呼ばれることが多い)は気化するまで加熱される。
その後、高速の蒸気流がチャンバー内の気体分子と相互作用し、効果的に出口に向かって気体分子を掃引する。
2.ガス除去のメカニズム
気化した液体は、巻き込まれたガス分子を乗せてポンプ内の冷却部に移動し、そこで凝縮する。
この凝縮により、捕捉されたガス分子が放出され、システムから排出される。
重力と蒸気の流れの方向性の組み合わせは、ガス分子をポンプの底部へ導くのに役立ち、排気プロセスの効率を高めます。
3.高真空能力
拡散ポンプは、10-2~10-10torrの非常に低い圧力を達成することができます。
この高真空性能により、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適しています。
拡散ポンプには可動部品がないため、耐久性と信頼性に優れている。
4.動作要件
拡散ポンプ自体には可動部品がありませんが、アイドル時にシステム内の圧力を低く維持するためにバッキングポンプが必要です。
ディフュージョンポンプが作動しているとき、バッキングポンプは隔離され、その主な機能は必要な真空状態の維持を補助することである。
5.メンテナンスと設計
ディフュージョンポンプのメンテナンスは比較的簡単で、オイルの適正レベルと加熱エレメントの適切な機能を確保することに重点を置いています。
設計には通常、オイルを気化させる加熱システムが含まれており、効率的な運転には、これらのコンポーネントの正確なアライメントが重要です。
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