拡散ポンプの機能は、気化した流体の運動エネルギーを利用してチャンバーから気体分子を巻き込み除去することにより、高真空環境を作り出すことである。可動部品を使用して空気を置換する機械式ポンプとは異なり、拡散ポンプは流体（通常はオイル）を気化させることで作動し、この気化した流体が空気分子を捕捉し、より低温の場所に輸送して放出します。このプロセスは、蒸気流の勢いと冷却効果に頼って、チャンバーから効率的に排気します。
詳しい説明
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作動原理：
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拡散ポンプは、沸騰流体の蒸気が空気分子を捕獲する、流体同伴の原理で作動します。これは、ピストンやブレードのような物理的なメカニズムを使用してチャンバーから空気を押し出す機械式ポンプとは対照的です。拡散ポンプでは、流体（油と呼ばれることが多い）は気化するまで加熱される。その後、高速の蒸気流がチャンバー内のガス分子と相互作用し、効果的に出口に向かってガス分子を掃き出す。ガス除去のメカニズム
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気化した液体は、巻き込まれたガス分子を乗せてポンプ内の低温部分に移動し、そこで凝縮します。この凝縮により、捕捉されたガス分子が放出され、システムから排出されます。重力と蒸気の流れの方向性の組み合わせは、ガス分子をポンプの底部へ導くのに役立ち、排気プロセスの効率を高めます。
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高い真空能力：
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拡散ポンプは、10-2～10-10torrの非常に低い圧力を達成することができます。この高い真空能力により、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな産業用途に適しています。拡散ポンプには可動部品がないため、耐久性と信頼性に優れています。動作要件
拡散ポンプ自体には可動部品がありませんが、アイドル時にシステム内の圧力を低く維持するためのバックポンプが必要です。ディフュージョンポンプが作動しているとき、バッキングポンプは隔離され、その主な機能は必要な真空状態の維持を補助することである。
