機械式ポンプと拡散ポンプの違いを理解することは、真空技術を扱う人にとって非常に重要です。
機械式ポンプと拡散ポンプについて知っておくべき5つのポイント
1.作動メカニズム
機械式ポンプは、ピストン、フィン、ローブなどの物理的なメカニズムを使用して、チャンバーから空気を置換します。
拡散ポンプは、沸騰する液体の蒸気を利用して空気分子を捕捉するため、可動部品なしで作動する。
2.可動部品
機械式ポンプには、ピストンやローターのような物理的な部品があり、密閉されたチャンバーから空気を移動させます。
拡散ポンプには動く機械部品はありません。
3.メンテナンスと操作
拡散ポンプのメンテナンスは比較的簡単で、オイルの適正レベルを維持し、ヒーターの機能を確保することに重点を置いています。
機械式ポンプの場合、可動部品があり、機械的操作に伴う摩耗があるため、より頻繁なメンテナンスが必要になる場合があります。
4.用途と効率
機械式ポンプは通常、真空を作る初期段階で使用され、大気圧レベルから約10^-2torrまで減圧することができます。
拡散ポンプは、圧力を超高真空レベル（10^-6 torr以下）まで下げる必要がある場合に使用されます。
5.真空生成のさまざまな段階への適合性
機械式ポンプは真空生成の初期段階に対応します。
より深い真空レベルには拡散ポンプが対応します。
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