ディフュージョンポンプは、多くの産業用途、特に高真空レベルを必要とする用途に不可欠なコンポーネントです。
拡散ポンプの9つの重要な特徴とは？
1.可動部がない
拡散ポンプには可動部がありません。
そのため、耐久性と信頼性に優れています。
機械的な故障の可能性が低くなります。
2.広い圧力範囲
ディフュージョンポンプは、10-10～10-2mbarの広い圧力範囲で機能します。
そのため、さまざまな用途に適しています。
電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などです。
3.対流駆動
拡散ポンプは、機械的な手段ではなく、対流によって駆動される。
そのため、エネルギー効率は低い。
しかし、シンプルな動作原理を実現している。
4.真空ポンプダウン
拡散ポンプには自動真空ポンプダウン機能があります。
これらは保持ポンプと連動している。
これにより、拡散ポンプのフォアラインの圧力を低く保つことができます。
また、ポンプオイルがチャンバー内に逆流するのを防ぎます。
5.蒸気のトラッピング
拡散ポンプは、沸騰流体（通常はオイル）の蒸気を利用して空気分子を捕捉します。
蒸気は、噴射口を備えた垂直テーパー状のスタックで圧縮される。
これにより、空気を捕獲する蒸気の傘が形成される。
その後、空気分子は別の場所に移動され、冷却されて放出される。
6.重力と蒸気流の組み合わせ
重力と拡散ポンプ内の蒸気の下向きの組み合わせは、空気分子をポンプの底に向かって移動させるのに役立つ。
7.互換性と抵抗
優れた拡散ポンプは、高い耐腐食性を備えていなければならない。
また、高い凝縮水適合性と普遍的な耐薬品性を持っている必要があります。
これにより、劣化や損傷なしに様々な物質を扱うことができます。
8.耐久性と低メンテナンス
ディフュージョンポンプは、可動部品がないため、その耐久性と信頼性で知られています。
メンテナンスが最小限で済むため、長期的には費用対効果が高くなります。
9.ポンプシステムの統合
拡散ポンプは、多くの場合、より大きなポンプシステムに統合されています。
通常、10～1ミクロンの範囲で作動します。
機械式ポンプやブースターポンプと一緒に作動し、高真空レベルを達成します。
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