拡散ポンプの重要な特徴は以下の通りです：
1. 可動部がない： 拡散ポンプには可動部品がないため、耐久性と信頼性に優れています。これはまた、機械的故障の可能性が低いことを意味します。
2. 広い圧力範囲： 拡散ポンプは、10-10～10-2mbarの広い圧力範囲で機能します。このため、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉など、さまざまな用途に適しています。
3. 対流駆動： 拡散ポンプは、機械的な手段ではなく、対流によって駆動される。そのためエネルギー効率は低いが、作動原理はシンプルである。
4. 真空ポンプダウン： 拡散ポンプには自動真空ポンプダウン機能があり、保持ポンプと連動しています。これにより、拡散ポンプのフォアラインを低圧に保ち、ポンプオイルのチャンバー内への逆流を防ぐことができます。
5. 蒸気のトラッピング： 拡散ポンプは、沸騰流体（通常はオイル）の蒸気を利用して空気分子を捕捉する。蒸気は、噴射口を備えた垂直テーパー状のスタックで圧縮され、空気を捕捉する蒸気の傘を形成する。その後、空気分子は別の場所に移動され、冷却されて放出される。
6. 重力と蒸気流の組み合わせ： 重力と拡散ポンプ内の蒸気の下向きの組み合わせは、空気分子をポンプの底に向かって移動させるのに役立つ。
7. 互換性と抵抗： 優れた拡散ポンプは、高い耐腐食性、高い凝縮水適合性、および普遍的な耐薬品性を備えている必要があります。これにより、さまざまな物質を劣化や損傷なしに取り扱うことができる。
8. 耐久性と低メンテナンス： 拡散ポンプは、可動部品がないため、その耐久性と信頼性で知られています。メンテナンスも最小限で済むため、長期的には費用対効果に優れています。
9. ポンプシステムの統合： 拡散ポンプは多くの場合、より大きなポンプシステムに統合されます。通常、10～1ミクロンの間で作動し、機械式ポンプやブースターポンプと一緒に作動して高真空レベルを達成します。
全体として、拡散ポンプは、さまざまな産業用途で高真空レベルを達成するための信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。シンプルなデザイン、耐久性、広い圧力範囲により、多くの産業で人気のある選択肢となっています。
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