拡散ポンプの重要な特徴は以下の通りです：
1. 高いポンプ速度： 拡散ポンプは、すべてのガスに対して高い排気速度を持ち、高真空および超高真空用途に適しています。ポンピング速度は10-2～10-10torrです。
2. 可動部がない： ディフュージョンポンプは可動部品がないため、耐久性と信頼性に優れています。この特徴により、メンテナンスの必要がなく、機械的故障のリスクを低減します。
3. シンプルな動作原理：拡散ポンプの動作は、拡散ポンプオイルとヒーターの2つの要素に依存しています。ヒーターはオイルを沸騰温度まで加熱し、上昇するオイル蒸気は、噴射口を備えた垂直テーパースタックで圧縮されます。角度のついたジェットが蒸気の傘を作り、空気分子を捕獲する。
4. 自動真空ポンプダウン： 拡散ポンプの作動は自動でインターロックされている。保持ポンプは、拡散ポンプのフォアライン上の圧力を常に低く保つために使用される。これにより、ポンプオイルのチャンバー内への逆流を防ぐことができる。
5. 様々な用途への適合性 拡散ポンプは、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの産業用途で広く使用されています。汎用性が高く、様々なプロセスに対応できます。
6. 高真空能力： 拡散ポンプは、10-10 torr以下の高真空レベルを達成することができます。そのため、極めて低い圧力を必要とするアプリケーションに適しています。
7. 費用対効果： ディフュージョンポンプは、同じ真空範囲で使用される他のタイプのポンプと比較して、単位ポンプ速度あたりのコストが低くなっています。そのため、産業用アプリケーションの魅力的な選択肢となります。
8. 流体同伴ポンプ： 拡散ポンプは、気体置換ポンプではなく、流体同伴ポンプとして動作します。沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、別の場所に移動して冷却し、捕獲した空気分子を放出する。
全体的に、拡散ポンプは、高速ポンピング、耐久性、シンプルさ、および費用対効果を提供し、様々な産業用途で高真空レベルを達成するための一般的な選択肢となっています。
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