ディフュージョンポンプは、さまざまな産業用途、特に高真空や超高真空レベルを必要とする用途において不可欠なツールです。
拡散ポンプの8つの重要な特徴とは?
1.高い排気速度
ディフュージョンポンプは、すべてのガスに対して高いポンピング速度を提供します。
そのため、高真空や超高真空のアプリケーションに最適です。
10^-2~10^-10torrのポンピング速度が得られます。
2.可動部品なし
拡散ポンプには可動部がないため、耐久性と信頼性に優れています。
この特徴により、メンテナンスの必要がなく、機械的故障のリスクを低減します。
3.シンプルな操作原理
拡散ポンプの動作は単純です。
拡散ポンプオイルとヒーターです。
ヒーターはオイルを沸騰温度まで加熱し、上昇するオイル蒸気は、噴射口を備えた垂直テーパースタックで圧縮されます。
角度のついたジェットが蒸気の傘を作り、空気分子を捕らえる。
4.自動真空ポンプダウン
拡散ポンプの作動は自動で連動している。
保持ポンプは、拡散ポンプのフォアライン上の圧力を常に低く保つために使用されます。
これにより、ポンプオイルのチャンバー内への逆流を防ぎます。
5.様々な用途への適合性
拡散ポンプは、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの工業用途で広く使用されています。
汎用性が高く、様々なプロセスに対応できます。
6.高真空能力
拡散ポンプは、10^-10 torr以下の高真空レベルを達成することができます。
そのため、極めて低い圧力を必要とするアプリケーションに適しています。
7.コスト効率
ディフュージョンポンプは、同じ真空範囲で使用される他のタイプのポンプと比較して、単位ポンピング速度あたりのコストが低く抑えられています。
このため、産業用アプリケーションの魅力的な選択肢となります。
8.流体同伴ポンプ
拡散ポンプは、気体置換ポンプではなく、流体同伴ポンプとして作動します。
沸騰流体の蒸気を利用して空気分子を捕獲し、別の場所に移動して冷却し、捕獲した空気分子を放出します。
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