ドライポンプは、オイルやその他の潤滑剤を使用せずに作動する真空ポンプの一種で、クリーンな真空を提供し、廃棄物の発生を最小限に抑えます。ドライポンプには次のような種類があります:
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ダイヤフラムポンプ:ダイヤフラムポンプ:ダイヤフラムを往復運動させて真空を作り出すポンプです。オイルフリーでメンテナンスがほとんど必要なく、汚染に敏感な用途に適しています。ダイヤフラムポンプは、異なる速度、圧力、調節タイプ(RPMやバルブ調節など)でカスタマイズすることができます。多くの場合、PTFEなどの耐腐食性コーティングが施されており、さまざまな化学溶剤に対応しています。
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スクロールポンプ:このポンプは、偏心して動く2つのらせん状のスクロールを利用して、空気と蒸気を圧縮し、排気に向かわせます。スクロールポンプは、ダイヤフラムポンプに比べて深い真空レベル(例えば、10-3 Torr)と高いポンプ速度を達成できるため、グローブボックスのような高流量を必要とする用途に適しています。しかし、定期的な先端シールの交換が必要な場合があり、一般的にダイアフラムポンプよりも耐腐食性に劣ります。
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ターボ分子ポンプ:この高真空ポンプは、回転するブレードを使用して気体分子に方向性のある運動量を与え、効果的に気体分子を送り出します。一般的に、非常に高い真空レベルが要求される科学用途や半導体用途で使用されます。
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ピストンポンプ:ピストンを使って空気を置換し、真空を作り出すポンプです。中程度の真空が必要な用途によく使用され、オイルフリーの設計が可能なため、クリーンな環境に適しています。
各タイプのドライポンプには固有の利点があり、真空レベルの要件、流量、化学的適合性、およびメンテナンスの考慮事項などの要因に基づいて、さまざまな用途に適しています。
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