ドライポンプは、オイルやその他の潤滑剤を使用せずに作動する真空ポンプの一種です。
クリーンな真空を提供し、廃棄物の発生を最小限に抑えます。
ドライポンプには次のような種類があります:
1.ダイヤフラムポンプ
ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを往復運動させて真空を作り出します。
オイルフリーで、メンテナンスはほとんど必要ありません。
ダイアフラムポンプは、汚染に敏感な用途に適しています。
これらのポンプは、異なる速度、圧力、調節タイプ(RPMまたはバルブ調節など)でカスタマイズできます。
多くの場合、PTFEなどの耐腐食性コーティングが施されており、さまざまな化学溶剤に対応しています。
2.スクロールポンプ
スクロールポンプは、空気と蒸気を圧縮するために偏心して動く2つのらせん状のスクロールを使用します。
スクロールポンプは、圧縮された空気と蒸気を排気に向けます。
スクロールポンプは、ダイヤフラムポンプと比較して、より深い真空レベル(例えば、10-3Torr)と高いポンプ速度を達成することができます。
グローブボックスのような高流量を必要とする用途に適しています。
しかし、定期的な先端シールの交換が必要な場合があり、一般的にダイアフラムポンプよりも耐腐食性に劣る。
3.ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、回転するブレードを使用して、気体分子に方向性のある運動量を与えます。
これにより、気体分子を効果的に送り出すことができる。
このポンプは通常、非常に高い真空レベルが要求される科学用途や半導体用途で使用される。
4.ピストンポンプ
ピストンポンプは、ピストンを使って空気を置換し、真空を作り出します。
中程度の真空が必要な用途によく使用されます。
ピストンポンプはオイルフリー設計が可能で、クリーンな環境に適しています。
各タイプのドライポンプには固有の利点があり、真空レベルの要件、流量、化学的適合性、メンテナンスの考慮事項などの要因に基づいて、さまざまな用途に適しています。
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