ディフュージョンポンプオイルの交換は、装置の安全性と効率性の両方を確保する重要なメンテナンス作業です。
安全性と効率を確保するための4つのポイント
1.オイルの劣化と安全性への懸念
この文献では、拡散ポンプオイルの劣化に関する重要な安全上の問題が強調されています。
特に、加熱中に揮発し、拡散ポンプに移動するワークロードに存在するオイルによって。
この汚染は、オイルの引火点（発火可能な温度）を低下させる。
オイルが過熱して空気が存在すると、爆発が起こる可能性がある。
これは真空炉の環境では特に危険である。
2.最低限の年次交換
このような事故のリスクを軽減するために、拡散ポンプオイルを少なくとも年に1回交換することを推奨します。
この予防的メンテナンスは、オイルが効果的で安全に使用できる状態を維持するのに役立つ。
参考文献は、これがオイル交換の最低頻度であることを示唆しており、特定の運転条件または汚染レベルによっては、より頻繁な交換が必要になる可能性があることを示唆している。
3.詳細な洗浄とメンテナンス
より徹底したメンテナンスのアプローチとして、この文献では、少なくとも数年に一度は拡散ポンプを完全に分解し、ジェットアセンブリと拡散ポンプ内部を洗浄することを推奨している。
この徹底的な洗浄により、オイル交換だけでは対処できないような蓄積した汚れを取り除くことができる。
4.特定のオイルモデルとケア
ディフュージョンポンプに指定されているオイルの型式はHFV-3である。
最適な性能と安全性を確保するために、メーカーが指定する正しいタイプのオイルを使用することが重要である。
さらに、この文献では、異なるタイプのポンプ間で真空ポンプオイルを交換しないこと、メンテナンスおよび運転担当者に適切な使用方法についての教育を徹底させることの重要性が強調されている。
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