真空ポンプには大きく分けて、液体リング真空ポンプ、ダイヤフラム真空ポンプ、ロータリーベーン真空ポンプ、ターボ分子真空ポンプ、スクロール真空ポンプの5種類がある。それぞれのタイプは、異なる目的、異なる原理で作動するため、様々な用途や産業に適しています。
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液体リング真空ポンプ:液体(通常は水)を使用してシールを作り、インペラを回転させて真空を形成するポンプです。その堅牢さで知られ、高い信頼性と低メンテナンスが要求される用途によく使用されます。
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ダイヤフラム真空ポンプ:柔軟な膜(ダイヤフラム)を使用して気体を送り出すポンプです。実験室や製薬業界など、クリーンでオイルフリーの真空を必要とする用途に最適です。
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ロータリーベーン真空ポンプ:最も一般的な真空ポンプのひとつで、回転する羽根を利用して真空を作り出します。汎用性が高く、幅広い圧力に対応できるため、多くの産業用途に適しています。
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ターボ分子真空ポンプ:このポンプは、回転羽根を使用して気体分子を入口から出口に移動させ、非常に高い真空を実現します。通常、半導体製造や科学研究などのハイテク産業で使用されます。
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スクロール真空ポンプ:このポンプは、2つの連動スクロール(1つは静止、もう1つは公転)を使用してガスを捕捉し、排気に向かって移動させます。静かな動作と低振動で知られており、これらの要素が重要な環境に適しています。
各タイプの真空ポンプは、それぞれ異なる原理で作動し、特定のタイプの流れ(粘性、移行性、分子)と真空レベルに対応するように設計されています。ポンプの選択は、必要な真空レベル、技術の堅牢性、コストなど、アプリケーションの特定の要件によって決まります。
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