拡散ポンプは、必要とされる真空レベルによって到達する温度が異なります。以下は真空範囲別の温度です：
- 10-9～10-10Torrの真空度の場合、拡散ポンプの温度は245℃です。
- 10-7～10-8Torrの真空範囲では、拡散ポンプの温度は220℃です。
- 10-5～10-6Torrの真空範囲では、拡散ポンプの温度は180℃である。
拡散ポンプの動作は、拡散ポンプオイルとヒーターという2つの要素の存在に依存している。ヒーターはボイラープレートを加熱し、オイルを沸騰温度にする。上昇するオイル蒸気は、高さ方向に噴射口を持つ垂直テーパースタックで圧縮される。噴射口は、空気を取り込む蒸気の傘を作るように角度がつけられており、ポンプが真空を作ることを可能にする。
ディフュージョンポンプオイルは、時間の経過とともに汚染され、潜在的な問題につながる可能性があることに注意することが重要です。ワークロードに存在するオイルが加熱により揮発し、ディフュージョンポンプに移動すると、汚染が発生する可能性がある。これによりオイルの引火点が低下し、過熱や爆発につながる可能性があります。したがって、安全で効率的な運転を確保するために、最低でも年に1回は拡散ポンプオイルを交換し、定期的にジェットアセンブリと拡散ポンプ内部を分解して清掃するなどの定期的なメンテナンスを行うことが推奨される。
熱伝達と電力放散の観点から、拡散ポンプは、温度均一性の維持とガス漏れの防止という課題に直面する可能性がある。ガスによる温度均一性の問題に対する一般的な解決策であるファンの使用は、高圧で運転する拡散ポンプには適さない場合がある。ファンシャフト周辺のクリアランスがガス漏れの原因となり、真空の完全性が損なわれる可能性がある。そのため、このような懸念に対処するためには、別の解決策が必要になる場合がある。
具体的な事例では、ある調査で、拡散ポンプの過熱は、水ラインが鉱物の堆積物で詰まったことによる冷却水不足が原因であることが判明した。これがシリコンベースの拡散ポンプオイルの過熱につながった。このような問題を防ぐためには、ディフュージョンポンプの適切な冷却とメンテナンスが重要である。
ディフュージョンポンプは、必要な真空レベルに応じて異なる温度で作動します。安全で効率的な運転には、オイル交換や洗浄を含む定期的なメンテナンスが不可欠です。さらに、適切な冷却と温度均一性の課題への対処は、拡散ポンプの運転における重要な考慮事項です。
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