ディフュージョンポンプは、必要な真空レベルに応じて異なる温度に達することができます。
以下は、異なる真空範囲の温度です：
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10-9～10-10Torrの真空範囲の場合、拡散ポンプの温度は245℃です。
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10-7～10-8Torrの真空範囲では、拡散ポンプの温度は220℃です。
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真空範囲が10-5～10-6Torrの場合、拡散ポンプの温度は180℃です。
拡散ポンプの温度は？知っておくべき4つの主要温度
1.拡散ポンプの動作を理解する
拡散ポンプの動作は、拡散ポンプオイルとヒーターという2つの要素の存在に依存しています。
ヒーターはボイラープレートを加熱し、オイルを沸騰温度にします。
上昇するオイル蒸気は、高さ方向に噴射口を持つ垂直テーパースタックで圧縮されます。
噴射口は、空気を取り込む蒸気の傘を作るように角度がつけられており、ポンプが真空を作ることを可能にする。
2.定期メンテナンスの重要性
拡散ポンプのオイルは、時間の経過とともに汚染され、潜在的な問題につながる可能性があることに注意することが重要です。
汚染は、ワークロードに存在するオイルが加熱時に揮発し、拡散ポンプに移動することで発生する可能性がある。
これによりオイルの引火点が低下し、過熱や爆発につながる可能性があります。
したがって、安全で効率的な運転を確保するために、最低でも毎年拡散ポンプオイルを交換し、定期的にジェットアセンブリと拡散ポンプ内部を分解して清掃するなどの定期的なメンテナンスを行うことが推奨される。
3.伝熱と放熱の課題
熱伝達と電力放散の観点から、拡散ポンプは温度の均一性の維持とガス漏れの防止という課題に直面する可能性がある。
ガスによる温度均一性の問題に対する一般的な解決策であるファンの使用は、高圧で作動する拡散ポンプには適さない場合がある。
ファンシャフト周辺のクリアランスがガス漏れの原因となり、真空の完全性が損なわれる可能性がある。
従って、このような懸念に対処するためには、別の解決策が必要になる場合がある。
4.具体的な過熱事故
ある具体的な事例では、拡散ポンプの過熱は、水配管が鉱物の堆積物で詰まったことによる冷却水不足が原因であることが調査で判明した。
これがシリコンベースの拡散ポンプオイルの過熱につながった。
このような問題を防ぐためには、ディフュージョンポンプの適切な冷却とメンテナンスが重要である。
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