知識 カーボンはスパッタリングできるか?考慮すべき5つのポイント
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

カーボンはスパッタリングできるか?考慮すべき5つのポイント

はい、炭素はスパッタリングで試料に付着させることができます。

しかし、得られる膜は水素の割合が高いことが多い。

このため、炭素スパッタリングはSEMの操作に適さない。

高い水素含有率は、電子顕微鏡の鮮明度と画像精度を妨げる可能性がある。

考慮すべき5つのポイント

カーボンはスパッタリングできるか?考慮すべき5つのポイント

1.カーボンスパッタリングとは?

カーボンスパッタリングは、高エネルギーイオンまたは中性原子が炭素ターゲットの表面に衝突するプロセスである。

これにより、エネルギーが伝達され、炭素原子の一部が放出される。

放出された原子は試料上に堆積し、薄膜を形成する。

2.スパッタリングにおける電圧の役割

このプロセスは、印加電圧によって駆動される。

この電圧は電子を陽極に向かって加速する。

また、プラスに帯電したイオンをマイナスにバイアスされたカーボンターゲットに向けて引き寄せる。

これによりスパッタリングプロセスが開始される。

3.水素含有量の問題

実現可能性があるにもかかわらず、SEM用途での炭素スパッタリングの使用は制限されている。

これは、スパッタ膜中の水素濃度が高いためである。

水素は電子ビームと相互作用して画像を歪ませたり、試料の分析を妨害したりする可能性がある。

4.代替法

SEMおよびTEM用途で高品質の炭素被膜を得るための代替法は、真空中で炭素を熱蒸発させる方法である。

この方法では、高い水素含有量に伴う問題を回避できる。

この方法は、炭素繊維または炭素棒を使用して行うことができ、後者はBrandley法として知られている技術である。

5.SEMでの実用化

まとめると、炭素は技術的には試料にスパッタリングすることができるが、スパッタリング膜中の水素含有量が高いため、SEMでの実用的な応用には限界がある。

電子顕微鏡で高品質の炭素被膜を得るには、熱蒸発法などの他の方法が望ましい。

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