不活性ガス（一般にアルゴン）は、その不活性な性質、高いスパッタリング速度、入手可能性から、主にスパッタリングに使用される。このガスは、ターゲット材料や基板と反応することなくプラズマ形成の媒体となり、スパッタされた材料の完全性を保証する。
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不活性な性質:アルゴンは不活性ガスであり、他の元素と反応しにくい。この性質は、ターゲット材料や基板とガスが化学的に相互作用するのを防ぐため、スパッタリングにおいて極めて重要です。このプロセスにおけるガスの主な目的はプラズマの形成を促進することであり、化学反応に関与することではない。
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高いスパッタリングレート:アルゴンはスパッタリングレートが高く、イオンを浴びせるとターゲット材料から原子を効率的に除去する。この効率は、アルゴンの原子量が比較的大きいためで、イオン入射時の運動量移動が効果的に行われます。高いスパッタリングレートは、蒸着プロセスの速度と効果に寄与する。
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入手可能性とコスト:アルゴンは、他の不活性ガスに比べて容易に入手でき、比較的安価である。広く入手可能で価格も手ごろなため、費用対効果が重要視される産業および研究用途に適している。
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プラズマの形成:低圧に制御された真空チャンバー内にアルゴンを導入し、ターゲットと基板間に電圧を印加するとプラズマが形成される。このプラズマは、正電荷を帯びたイオンと自由電子から構成され、スパッタリングプロセスに不可欠である。イオンはマイナスに帯電したターゲット（カソード）に引き寄せられ、そこで衝突してターゲット原子を放出します。このプロセスはスパッタリングとして知られています。
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制御と柔軟性:スパッタリングではアルゴンのような不活性ガスを使用するため、成膜プロセスを幅広く制御できる。ガス圧や電圧などのパラメーターを調整することで、スパッタ粒子のエネルギーや分布を細かく調整することができます。この制御により、特定の特性や微細構造を持つ薄膜の成膜が可能になる。
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反応性ガスとの互換性:アルゴンは不活性ですが、酸化物、窒化物、酸窒化物などの化合物の薄膜を成膜するために反応性ガスと併用することができます。この組み合わせにより、成膜材料の化学修飾が可能になり、スパッタリング技術の応用範囲が広がる。
要約すると、スパッタリングにアルゴンのような不活性ガスを使用することは、スパッタリング材料の純度を維持し、効率的かつ制御された成膜を容易にし、薄膜形成に費用対効果の高いソリューションを提供するために不可欠である。
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