拡散ポンプに関して言えば、使用する流体の種類は、高真空レベルを維持し、機器の寿命を確保するために非常に重要です。
1.低い蒸気圧と劣化への耐性
拡散ポンプに使用されるポリフェニルエーテルやパーフルオロポリエーテルなどの流体は、蒸気圧が低く、劣化しにくいという特徴があります。
特にポリフェニルエーテルは蒸気圧が非常に低いことで知られており、これは高真空を維持するために不可欠である。
電子線照射に対する耐性があるため、電子線顕微鏡や真空蒸着プロセスなど、高エネルギー粒子が存在する環境に最適である。
2.化学的不活性
パーフルオロポリエーテルは酸素、ハロゲン、酸に対して非常に不活性であるため、これらの物質が存在する環境での使用に適しています。
この流体は、主流体を損なうことなくガスに分解するが、発生するガスは有毒であるため、慎重な取り扱いと封じ込めが必要である。
3.高真空用途での性能
ポリフェニルエーテルは、シリコーンオイルよりも高価であるにもかかわらず、高真空と電子線照射下での安定性が要求される特定の用途に好まれる。
4.拡散ポンプに関する一般的考察
拡散ポンプ用の流体を選択する際には、最適な性能と最小限のメンテナンスを保証するために、オイルの品質を考慮することが不可欠である。
高品質のオイルは、10-2～10-10 torrの真空レベルを達成するのに役立ち、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、真空炉などの用途に不可欠です。
拡散ポンプは操作が簡単で可動部品がないため、耐久性と信頼性が高く、メンテナンスは主に適切なオイルレベルの維持とヒーターの機能確保に集中する必要がある。
5.化学的適合性とメンテナンス
流体の選択は、ポンプを通過する蒸気との化学的適合性にも依存します。
ドライでオイルフリーのポンプは、耐腐食性とメンテナンスの容易さの点で有利です。
ディフュージョンポンプのメンテナンスは簡単で、オイルレベルが適正かどうかとヒーターの動作をチェックします。
ヒーターエレメントの適切なアライメントは非常に重要ですが、限られたスペースでは難しい場合があります。
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