拡散ポンプに使用される流体、特にポリフェニルエーテルとパーフルオロポリエーテルの特性は、蒸気圧が低く、劣化しにくく、化学的に不活性であることが特徴である。ポリフェニルエーテルは、蒸気圧が低く、電子線照射に耐性があるため、高真空用途に適している。一方、パーフルオロポリエーテルは、酸素、ハロゲン、酸に対して非常に不活性で、分解すると毒性を示すが、主流体を損なうことなくガスに分解する。
ポリフェニルエーテル
ポリフェニルエーテルは、蒸気圧が非常に低く、拡散ポンプで高真空を維持するのに重要であることから選ばれている。電子ビーム顕微鏡や真空蒸着プロセスなど、ポンプが高エネルギー粒子にさらされる可能性のある環境では、電子線照射に対する耐性が特に役立ちます。シリコーンオイルよりも高価ですが、その性能特性から、高真空と電子線照射下での安定性が要求される特定の用途に適しています。パーフルオロポリエーテル
パーフルオロポリエーテルは、炭化水素の水素原子をすべてフッ素原子に置き換えた流体の一種で、分子量が高く、化学的安定性が向上している。この流体は、酸素、ハロゲン、酸など多くの侵食性化学物質に対して不活性であるため、そのような物質が存在する環境での使用に最適です。分解時にガスに分解されるため、主液は無傷であるが、発生するガスは有毒であり、慎重な取り扱いと封じ込めが必要である。
拡散ポンプに関する一般的な考察
ディフュージョンポンプの流体を選択する際には、最適な性能と最小限のメンテナンスを確保するために、オイルの品質を考慮することが不可欠です。高品質のオイルは、所望の真空レベル（10-2から10-10 torrの範囲）を達成するのに役立ち、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、真空炉などの用途に不可欠です。拡散ポンプは操作が簡単で可動部品がないため、耐久性と信頼性が高く、メンテナンスは主に適切なオイルレベルの維持とヒーターの機能確保に集中する必要があります。
化学的適合性とメンテナンス
