拡散ポンプの欠点には、保持ポンプへの依存、圧力範囲の制限、特定の用途に合わせたサイズの複雑さ、使用するオイルの種類による潜在的な問題などがある。
ホールディングポンプへの依存： 拡散ポンプは単独で運転することができず、アイドルモード時に低い内圧を維持するためにホールディングポンプを必要とします。このセットアップでは、複数のポンプを同時に運転する必要があり、システムが複雑になり、運転コストが増加する可能性があります。
圧力範囲の制限： 拡散ポンプは非常に低圧の用途向けに設計されており、通常は8.0 x 10-6 Torrという低圧に達します。このため、このような極端な真空を必要としない用途には不向きです。真空度の要求がそれほど高くない場合は、よりシンプルな2段式システムを使用することができ、4.5 x 10-2 Torrまでの圧力を達成できるため、拡散ポンプを使用した3段式システムは不要となり、効率も悪くなります。
特定の用途のためのサイジングの複雑さ： ロトバップのような用途で拡散ポンプのサイズを正しく決めるのは難しい。過大な出力のポンプでは、蒸気がコンデンサーで凝縮するのに十分な時間が得られない可能性があり、過小なサイズのポンプでは、ポンプが処理できる圧力よりも高い圧力にさらされ、早期摩耗や損傷につながる可能性があります。このように、用途の特定の条件によって性能にばらつきがあるため、最適な運転を確保するのが難しくなります。
使用する油の種類に関する問題： 拡散ポンプの運転は、ポリフェニルエーテルやパーフルオロポリエーテルなど、特定の種類のオイルに大きく依存しています。これらのオイルには、電子線照射に対する耐性や化学的不活性といった利点がある一方で、欠点もある。ポリフェニルエーテルは一般的なシリコーンオイルよりも高価であり、パーフルオロポリエーテルは化学的劣化に強い反面、分解して有毒ガスになる。このため、慎重な取り扱いと追加の安全対策が必要となり、運転の複雑さとコストが増す。
まとめると、拡散ポンプは非常に高い真空度を達成するのに有効ですが、その運転要件、圧力範囲の制限、サイズ決定の難しさ、および使用するオイルに関連する複雑さは、適用を慎重に考慮しなければならない重大な欠点を提示します。
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