真空ポンプは、密閉された容積から気体分子を取り出して部分真空を作り、空気を除去する。
このプロセスには、チャンバー内の圧力を下げることが含まれます。
これは、さまざまな圧力範囲や用途に合わせて設計されたさまざまなタイプの真空ポンプによって実現されます。
真空ポンプはどのように空気を除去するのか？- 5つのポイント
1.空気除去のメカニズム
真空ポンプは、密閉された空間から気体分子を除去する原理で作動します。
これは通常、機械的または物理的な手段によって行われます。
ポンプはこれらの分子を積極的に吸引し、チャンバー内の粒子数を減らします。
気体分子の数が減ると、チャンバー内の圧力が下がり、部分真空になります。
2.真空ポンプの種類
真空ポンプの種類は、さまざまな圧力レベルや特定の用途で動作するように設計されています。
例えば、ターボ分子真空ポンプは、高速回転するブレードを使用して効率的に空気を除去します。
これらのポンプは12mbarまでの圧力に達することができる。
高速運転をサポートするため、磁気軸受が装備されています。
3.大気圧の重要性
真空ポンプの効率は、大気圧に大きく影響されます。
高い気圧では、ポンプはより効率的に作動します。
外圧とチャンバー内の圧力差が大きくなります。
この圧力差により、分子が高圧（チャンバー外）から低圧（チャンバー内）へと移動し、ポンプの作動を助けます。
4.真空ポンプの用途
真空ポンプは、ろ過のための吸引開始など、さまざまな用途に使用される。
溶媒の蒸発を調整する。
気体サンプルの採取
危険物の漏れを防ぐために負圧を維持する。
各アプリケーションには、必要な圧力範囲で作動するように設計された特定のタイプの真空ポンプが必要です。
5.高真空達成の課題
チャンバー内の圧力が低下するにつれて、追加分子の除去はより困難になる。
このため、真空システムには複数のタイプのポンプが採用されることが多い。
各ポンプは特定の圧力範囲で作動することができる。
これらのポンプは、特に圧力が1.3～13.3mbarに及ぶ産業用途では、直列に作動して目的の真空レベルを達成します。
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