拡散ポンプに関しては、使用するオイルの種類が高真空レベルを維持するために非常に重要です。
シリコーンオイルは、拡散ポンプで最も一般的に使用されているオイルです。
この選択は、主にその高い蒸気圧と安定性によるものです。
シリコーンオイルは耐久性が高く、長期間の運転でも劣化が少ないことで知られています。
シリコーンオイルが拡散ポンプに好まれる4つの主な理由
1.高い蒸気圧と安定性
シリコーンオイルは蒸気圧が高く、ポンプ内の高い真空レベルを維持するために不可欠です。
また、安定性が高いため、長期間にわたって効果を維持することができます。
2.温度耐性
シリコーンオイルは高温でも壊れません。
これは、オイルを加熱して蒸気を発生させるディフュージョンポンプの動作にとって非常に重要です。
蒸気は急速に下方に移動し、空気分子を捕捉して真空チャンバーから除去します。
3.最小限の汚染リスク
シリコーンオイルの使用は、真空チャンバー内の汚染リスクを最小限に抑えます。
オイル分子がチャンバー内に残る可能性はありますが、他のタイプのオイルに比べ、シリコーンオイルは重大な問題を引き起こす可能性が低いのです。
4.安全性
シリコーンオイルは、毒性や燃焼性の観点から比較的安全です。
これは作業上の安全性にとって重要です。
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