拡散ポンプは可動部のない真空ポンプの一種で、ピストンやフィンを使って空気を置換する機械式ポンプとは異なる。その代わりに、拡散ポンプは流体同伴機構を採用し、空気分子を捕捉して輸送するために沸騰流体（しばしば「オイル」と呼ばれる）の蒸気を利用する。高い運動エネルギーを持つ蒸気が空気分子を捕らえ、より温度の低い場所に運び、そこで空気分子を放出する。このプロセスは、重力と蒸気の下向きの流れによって助けられ、空気分子をポンプの底に向かわせる。
拡散ポンプは操作が簡単で耐久性に優れているため、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、真空炉など、さまざまな産業用途に適している。拡散ポンプは、10^-2～10^-10torrの高真空レベルを達成することができる。しかし、拡散ポンプは単独で作動することはできません。特にアイドル時には、システム内の圧力を低く維持するためのバックポンプが必要です。このセットアップにより、拡散ポンプが必要なときに効果的に機能し、ホールドポンプバルブを隔離し、機械式ポンプとブロワーをバッキングポンプとして頼ることができます。
メンテナンスに関しては、拡散ポンプは比較的簡単で、オイルレベルの監視とヒーターの機能性だけが必要です。加熱システムには通常、管状エレメント、クラッシュプレート、クランププレートが含まれ、効率的な運転には適切な位置合わせが重要です。
拡散ポンプは、ターボ分子ポンプのような運動ポンプとは対照的で、インペラや高速回転ブレードを使用して気体分子に運動量を与え、出口に向かって押し出します。このような運動ポンプは高圧用途に使用され、拡散ポンプとは異なる運転要件とメンテナンス要件があります。
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