拡散ポンプは、可動部品なしで作動する真空ポンプの一種である。
ピストンやフィンを使って空気を置換する機械式ポンプとは異なる。
その代わりに、拡散ポンプは流体同伴機構を採用している。
この機構は、しばしば「オイル」と呼ばれる沸騰流体の蒸気を利用して、空気分子を捕捉し輸送する。
高い運動エネルギーを持つ蒸気が空気分子を捕らえ、より温度の低い場所に運び、そこで空気分子を放出する。
このプロセスは、重力と蒸気の下向きの流れによって助けられ、空気分子をポンプの底に向かわせる。
理解すべき5つのポイント
1.操作の単純さと耐久性
拡散ポンプは、操作が簡単で耐久性に優れているため、さまざまな産業用途に適しています。
例えば、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、真空炉などである。
2.高真空レベル
拡散ポンプは、10^-2から10^-10 torrの高真空レベルを達成することができます。
3.バッキングポンプの要件
拡散ポンプは単独では作動しません。
特にアイドル時には、システム内の圧力を低く維持するためにバッキングポンプが必要です。
このセットアップにより、拡散ポンプは必要なときに効果的に機能することができます。
4.メンテナンス
メンテナンスに関しては、ディフュージョンポンプは比較的簡単である。
必要なのは、オイルレベルの監視とヒーターの機能だけである。
加熱システムには通常、管状エレメント、クラッシュプレート、クランププレートが含まれます。
効率的な運転には、適切なアライメントが重要です。
5.キネティックポンプとの対比
拡散ポンプは、ターボ分子ポンプのような運動ポンプとは対照的である。
運動ポンプは、インペラや高速回転翼を使用して気体分子に運動量を与え、出口に向かって押し出します。
これらの動圧ポンプは高圧用途に使用され、拡散ポンプとは異なる運転要件とメンテナンス要件があります。
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