RFスパッタリングで使用される周波数は通常5～30 MHzの範囲であり、13.56 MHzが最も一般的である。この周波数が選ばれるのは、ITU無線規則によって産業・科学・医療（ISM）機器用に割り当てられ、電気通信サービスに干渉しないことが保証されているためである。さらに、13.56 MHzは、スパッタリング・プロセスにとって重要なアルゴン・イオンのターゲットへの運動量移動に十分な時間を確保するのに十分な低さである。
13.56MHzの選択は、いくつかの理由から戦略的である：
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ISMバンド割り当て:国際電気通信連合（ITU）は13.56MHzをISMバンドに指定し、産業、科学、医療用途に特化している。この指定は、他の無線周波数通信との干渉を防ぐのに役立ち、スパッタリングプロセスが他のRFベースの技術を妨害したり妨害されたりすることなく動作できることを保証します。
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運動量伝達効率:この周波数では、アルゴンイオンからターゲット材料への運動量の効率的な移動に適した時間スケールとなっている。周波数が高ければ、イオンが運動量を効果的に伝達するのに十分な時間がなく、スパッタリング効率が低下する可能性があるため、これは非常に重要である。
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電子ダイナミクス:13.56MHzの周波数は、電子ダイナミクスの面でもバランスが取れている。周波数が高くなると、電子がスパッタリングプロセスで支配的になり、蒸着特性が変化して電子ビーム蒸発に近くなる可能性がある。13.56MHzを使用することで、イオンと電子の両方が重要な役割を果たすバランスが保たれるが、イオンは固定化されないため、効果的なスパッタリングが保証される。
まとめると、RFスパッタリングにおける13.56 MHzの周波数は、スパッタリングプロセス中のイオンと電子の相互作用の物理学に関連する規制遵守と実用的考慮の両方の結果である。この周波数は、スパッタリングシステムの効率的で干渉のない動作を保証し、薄膜、特に非導電性材料の成膜に理想的です。
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