スパッタコーティングできる金属には、金、炭素、タングステン、イリジウム、クロム、白金、パラジウム、銀、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化インジウムスズ（ITO）、酸化チタン、窒化タンタル、ガドリニウムなどがある。これらの材料は、導電性、粒径、EDXのような分析技術との適合性などの特定の特性によって選択される。
金 は、導電率が高く、粒径が小さいため、高分解能イメージングに最適であり、歴史的に最も一般的なスパッタコーティング材料である。特に、導電性とイメージングへの干渉の少なさが重要な用途で好まれている。
カーボン は、エネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な場合に使用されます。そのX線ピークは他の元素のピークと競合しないため、試料の元素組成の正確な分析が保証されるからです。
タングステン、イリジウム、クロム は、特に超高分解能イメージングが必要な場合に、スパッタコーティングに使用される新しい材料です。これらの金属の粒径は金よりもさらに細かく、得られる画像の解像度と鮮明度が向上します。
プラチナ、パラジウム、銀 銀も使用されるが、銀には可逆性があるという利点があり、サンプルを損傷することなくコーティングを除去または変更する必要がある特定の実験セットアップで特に有用である。
酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化インジウムスズ（ITO）、酸化チタン、窒化タンタル、ガドリニウム などがスパッタコーティングに使用されます。これらの材料は、耐薬品性、電気伝導性、光学特性などの特定の特性によって選択される。例えば、ITOはその透明性と導電性から、電子ディスプレイに理想的な材料として使用されている。
まとめると、スパッタコーティングに使用する金属の選択は、導電性の必要性、分解能、分析技術との適合性、コーティング材料の物理的または化学的特性など、アプリケーションの特定の要件によって決まります。
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