スパッタコーティングは、表面に金属の薄層を蒸着させるプロセスである。この技術は、顕微鏡や分析技術など、さまざまな用途に使用されている。スパッタコーティングに使用する金属の選択は、導電性、粒径、特定の分析手法との適合性など、いくつかの要因によって決まります。
スパッタコーティングできる金属は？5つの重要な選択肢を解説
1.金
金は歴史的に最も一般的なスパッタコーティング材料である。導電性が高く、粒径が小さいため、高解像度の画像処理に最適です。導電性と画像への干渉の少なさが重要な用途では、金が特に好まれます。
2.カーボン
カーボンは、エネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な場合に使用される。X線のピークが他の元素のピークと重ならないため、試料の元素組成を正確に分析できます。
3.タングステン、イリジウム、クロム
タングステン、イリジウム、クロムは、スパッタコーティングに使用される新しい材料です。これらの金属の粒径は金よりもさらに細かく、得られる画像の解像度と鮮明度が向上する。超高解像度イメージングが必要な場合に特に有用である。
4.白金、パラジウム、銀
白金、パラジウム、銀もスパッタコーティングに使用される。銀には可逆性があるという利点があり、試料を損傷することなくコーティングを除去したり変更したりする必要がある実験セットアップでは特に有用である。
5.酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化インジウムスズ（ITO）、酸化チタン、窒化タンタル、ガドリニウム
酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化インジウムスズ（ITO）、酸化チタン、窒化タンタル、ガドリニウムは、スパッタコーティングに使用される他の材料です。これらの材料は、耐薬品性、電気伝導性、光学特性などの特定の特性によって選択される。例えば、ITOはその透明性と導電性から、電子ディスプレイに理想的な材料として使用されています。
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