ロータリーポンプ、特にロータリーベーンポンプの真空レベルは、2 x 10-3 mbarまでの究極の真空を達成することができます。このタイプのポンプは、プレバキュームポンプとして一般的に使用され、大気圧の直接排気にも効果的です。
ロータリーベーンポンプの真空レベルに関する4つの重要な洞察
1.真空とロータリーベーンポンプの種類
真空レベルは、気体分子の少なさによって、粗真空または低真空、高真空、超高真空に分類される。ロータリーベーンポンプは通常、粗真空または低真空レベルを達成するために使用されます。これらのポンプは、密閉された容積内の圧力を下げることで作動し、存在する気体分子の数を減少させます。
2.ロータリーベーンポンプの動作
ロータリーベーンポンプは、チャンバー内を半径方向に移動するベーンまたはブレードを含む回転機構で設計されています。ローターが回転すると、ベーンがポケットを作り、入口からガスを吸い込み、出口から排出し、システム内の圧力を下げます。二段ポンプはより低い圧力を達成することができ、大まかな真空に適しています。
3.達成される真空レベル
ロータリーベーンポンプが達成する特定の真空レベルは、その設計と段構成に影響されます。シングルステージポンプは通常、ダブルステージポンプに比べて高い圧力(低い真空レベル)を達成します。参考文献によると、ロータリーベーンポンプは2 x 10-3 mbarまでの極限真空に達することができ、低真空から中真空域の達成に適したポンプのカテゴリーに入ります。
4.アプリケーションに関する考察
ロータリーベーンポンプを選択する際には、用途に応じて必要な真空レベルを考慮することが重要です。より高い真空レベルを必要とするプロセスでは、より高い真空レベル(より低い圧力)を達成できるターボ分子ポンプやオイル拡散ポンプなど、他のタイプのポンプが適している場合があります。
まとめると、ロータリーベーンポンプは汎用性が高く、多くのプロセスで十分な真空レベルを達成するために産業用アプリケーションで一般的に使用されており、2 x 10-3 mbarという低い圧力に到達する能力があります。
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