スパッタコーティングは、金属の薄層を表面に蒸着させるプロセスである。
これらのコーティング材料の粒径は、使用する金属によって異なる。
金や銀のような金属の場合、粒径は通常5～10ナノメートル（nm）です。
金はその優れた電気伝導性から、スパッタコーティングの一般的な選択肢となっている。
しかし、金はスパッタリングによく使われる他の金属に比べて粒径が大きい。
この粒径の大きさゆえに、金は高分解能のコーティングを必要とする用途には不向きである。
対照的に、金パラジウムや白金などの金属は粒径が小さい。
これらの小さな粒径は、より高分解能のコーティングを実現するのに有利である。
クロムやイリジウムのような金属はさらに粒径が小さく、非常に微細なコーティングに最適です。
これらの金属には、高真空スパッタリングシステム、特にターボ分子ポンプシステムを使用する必要があります。
走査型電子顕微鏡（SEM）用途のスパッタコーティングに使用する金属の選択は非常に重要です。
それは、得られる画像の解像度と品質に直接影響する。
コーティングプロセスでは、非導電性または低導電性の試料に金属の極薄層を蒸着します。
これにより帯電を防ぎ、二次電子の放出を促進します。
その結果、SEM画像のS/N比と鮮明度が向上します。
コーティング材料の粒径は、これらの特性に大きく影響する。
一般的に粒径が小さいほど、高分解能イメージングにおいて優れた性能を発揮する。
要約すると、SEM用途のスパッタコーティングの粒径は通常、金と銀で5～10nmの範囲である。
金パラジウム、白金、クロム、イリジウムなどの金属では、粒径を小さくするオプションもある。
その選択は、画像解像度とスパッタリングシステムの能力に関する特定の要件によって決まります。
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