知識 スパッタリングにおけるターゲットポイズニングとは?理解すべき4つのポイント
著者のアバター

技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

スパッタリングにおけるターゲットポイズニングとは?理解すべき4つのポイント

スパッタリングにおけるターゲット被毒とは、金属レーストラック領域外のターゲット表面に絶縁酸化物層が形成されることを指す。

これは、ターゲット材料、特に反応性のある材料がスパッタリング環境と相互作用し、非導電性層を形成する場合に発生する。

回答の要約 ターゲット被毒とは、ターゲット表面に絶縁性の酸化物層が形成されることで、アーク放電を引き起こし、スパッタリングプロセスを中断させる可能性がある。

この状態では、ポイズニングされたターゲットの誘電体表面でのアーク放電を防ぐために、パルシング技術を使用する必要があります。

詳しい説明

1.絶縁酸化膜の形成

スパッタリングにおけるターゲットポイズニングとは?理解すべき4つのポイント

スパッタリングプロセスでは、ターゲット材料にイオンを照射して原子を放出させ、基板上に薄膜として堆積させる。

ターゲット材料が反応性である場合、スパッタリング環境(通常、チャンバー内に存在する酸素やその他の反応性ガス)と反応し、酸化物層が形成される。

この層は非導電性であり、ターゲット表面の金属レーストラック領域の外側に形成される。

2.スパッタリングプロセスへの影響

この絶縁酸化物層の存在はスパッタリングプロセスに大きな影響を与える。

絶縁酸化物層は、ターゲットと基板間に印加される高電圧による電気エネルギーの突然の放出であるアーク放電を引き起こす可能性がある。

アーク放電は、ターゲット、基板、コーティングを損傷し、欠陥や膜質の低下につながる。

3.予防と緩和

ターゲット被毒の影響を防止または軽減するために、しばしばパルス化技術が採用される。

パ ル シ ン グ は 、ス パッタリングプロセ スへの供給電力を調節することで、絶縁層を破壊し、アーク放電につながる電荷の蓄積を防ぐのに役立つ。

さらに、清浄で制御されたスパッタリング環境を維持することで、ターゲット被毒の可能性を低減することができる。

4.消滅アノード効果

時間の経過とともに、絶縁材料の堆積はターゲットに影響を及ぼすだけでなく、PVD装置内部をコーティングし、消滅陽極効果をもたらす。

この効果により、蒸着中のプロセス条件が変化し、チャンバーが接地陽極として機能しなくなります。

これに対抗するため、デュアルマグネトロンスパッタリングが使用され、導電経路を維持し、絶縁材料の蓄積を防ぐことができる。

まとめると、スパッタリングにおけるターゲット被毒は、ターゲット表面に絶縁酸化物層が形成されることから生じる重大な問題であり、スパッタリングプロセスを妨害し、アーク放電につながる可能性がある。

効果的な緩和戦略には、パルス化技術の使用や制御されたスパッタリング環境の維持が含まれる。

さらに詳しく知りたい方は、当社の専門家にご相談ください。

KINTEKでスパッタリングにおけるターゲットポイズニングの解決策を見つけましょう!

スパッタリングプロセスにおけるターゲットポイズニングの問題に直面していませんか?

KINTEKは、これらの障害を克服するための先進的な材料と専門的なソリューションを提供します。

当社の革新的な製品は、絶縁酸化膜の形成を防止し、スムーズで効率的なスパッタリングを実現するように設計されています。

ターゲットポイズニングで生産を中断させないでください。KINTEKの最先端ソリューションと、お客様のラボの成功をサポートする方法について、今すぐお問い合わせください。

関連製品

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

ラボのニーズに合わせて、高品質の炭化ホウ素材料を手頃な価格で入手できます。当社は、スパッタリング ターゲット、コーティング、粉末などを含む、さまざまな純度、形状、サイズの BC 材料をカスタマイズします。

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度鉛(Pb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の鉛 (Pb) 材料をお探しですか?スパッタリング ターゲット、コーティング材料などを含む、カスタマイズ可能なオプションの専門的なセレクション以外に探す必要はありません。競争力のある価格については今すぐお問い合わせください。

高純度アルミニウム(Al)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度アルミニウム(Al)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質アルミニウム (Al) 材料を手頃な価格で入手できます。当社は、お客様固有のニーズを満たすために、スパッタリング ターゲット、粉末、フォイル、インゴットなどを含むカスタマイズされたソリューションを提供します。今すぐ注文!

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度コバルト(Co)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

お客様独自のニーズに合わせた、実験室用のコバルト (Co) 材料を手頃な価格で入手できます。当社の製品には、スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどが含まれます。カスタマイズされたソリューションについては、今すぐお問い合わせください。

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用に手頃な価格のセレン (Se) 材料をお探しですか?当社は、お客様の独自の要件に合わせて、さまざまな純度、形状、サイズの材料の製造と調整を専門としています。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

テルル化コバルト(CoTe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

テルル化コバルト(CoTe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質のテルル化コバルト材料を手頃な価格で入手してください。当社は、スパッタリングターゲット、コーティング、粉末などを含め、カスタマイズされた形状、サイズ、純度を提供します。

マンガン・コバルト・ニッケル合金(MnCoNi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

マンガン・コバルト・ニッケル合金(MnCoNi)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに応える最高品質のマンガン コバルト ニッケル合金材料を手頃な価格で入手できます。当社のカスタマイズ製品には、スパッタリングターゲット、コーティング材料、粉末など、さまざまなサイズや形状があります。

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに合わせた硫化亜鉛 (ZnS) 材料を手頃な価格で入手できます。当社は、さまざまな純度、形状、サイズの ZnS 材料を製造およびカスタマイズします。スパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などを幅広い選択肢からお選びいただけます。

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けの高品質な硫化スズ (SnS2) 材料を手頃な価格で見つけてください。当社の専門家は、お客様の特定のニーズに合わせて材料を製造およびカスタマイズします。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

特定のニーズに合わせてカスタマイズされた高品質のアンチモン (Sb) 材料を入手してください。豊富な形状とサイズをリーズナブルな価格でご提供いたします。当社のスパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどをご覧ください。

炭化チタン(TiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化チタン(TiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けの高品質の炭化チタン (TiC) 材料を手頃な価格で入手できます。スパッタリングターゲットやパウダーなど、さまざまな形状やサイズを取り揃えております。お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズします。

高純度カーボン(C)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度カーボン(C)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす手頃な価格のカーボン (C) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門的に製造および調整された素材には、さまざまな形状、サイズ、純度があります。スパッタリング ターゲット、コーティング材料、パウダーなどからお選びいただけます。

高純度鉄(Fe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度鉄(Fe)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用に手頃な価格の鉄 (Fe) 材料をお探しですか?当社の製品範囲には、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズされた、さまざまな仕様とサイズのスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などが含まれます。今すぐご連絡ください。

窒化チタン(TiN)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

窒化チタン(TiN)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けに手頃な価格の窒化チタン (TiN) 材料をお探しですか?当社の専門知識は、お客様の固有のニーズを満たすために、さまざまな形状やサイズの特注素材を製造することにあります。スパッタリングターゲットやコーティングなどの仕様・サイズを豊富に取り揃えております。


メッセージを残す