ITOターゲットとは、インジウム・スズ酸化物ターゲットの略で、薄膜産業で使用されるスパッタリングターゲットの一種である。
酸化インジウム（In2O3）と酸化スズ（SnO2）の混合物から成り、重量比はIn2O3が90%、SnO2が10%である。
ITOは、導電性と光学的透明性を兼ね備えているため、スパッタリングターゲットとしてよく使用されています。
ITOは、半導体、太陽電池、コーティングなどの用途や光学用途で一般的に使用されている。
ITOターゲットの製造にはさまざまな方法がある。
ひとつは熱溶射による回転ターゲットで、プラズマ、アーク、コールドスプレーなどの製造方法がある。
その他の製造方法としては、鋳造、押出、熱間静水圧プレス（HIP）/焼結などがある。
回転式ターゲット、特に円筒形ターゲットは、建築用ガラスやフラットパネルディスプレイの大面積コーティング製造によく使用される。
これらのターゲットには、平面ターゲットと比較していくつかの利点がある。
より多くの材料を含むため、生産期間が長くなり、ダウンタイムが減少する。
発熱が表面積に均等に分散されるため、より高い出力密度と蒸着速度の向上が可能になる。
これは、反応性スパッタリング時の性能向上につながります。
KINTEKは高純度ITOターゲットの製造を専門とするサプライヤーである。
直径2インチから8.625インチまで、長さは数インチから160インチまで、さまざまなサイズの特注円筒形ロータリースパッタリングターゲットを提供している。
ターゲットは、蛍光X線（XRF）、グロー放電質量分析（GDMS）、誘導結合プラズマ（ICP）などの技術を用いて分析され、最高の品質を保証する。
最高の性能を達成し、ひび割れや過加熱を防ぐには、ITOターゲットをバッキングプレートに接着することをお勧めします。
KINTEKが採用している化合物ターゲットの製造方法には、真空ホットプレス、熱間静水圧プレス、冷間静水圧プレス、冷間プレス焼結があります。
ターゲットは、特定の要件に応じて、長方形、環状、楕円形など、さまざまな形状やサイズで製造することができます。
要約すると、ITOターゲットは酸化インジウムと酸化スズの混合物からなるスパッタリングターゲットである。
様々な産業で薄膜蒸着に使用され、導電性と光学的透明性を兼ね備えています。
さまざまな方法で製造されるITOターゲットは、多くの場合、回転可能なターゲットの形をしており、材料の利用や蒸着性能の面で平面ターゲットよりも優れています。
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