漏れを測定するためには、漏れの種類や発生する環境に応じて様々な方法を採用することができる。ここでは、いくつかの方法について詳しく説明する：
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発煙筒（スモークボム）:この方法は、見つけにくい漏れを見つけるのに特に効果的である。すべての可燃物を取り除いた後、冷たい炉の中に煙発生装置を設置する。点火すると、煙が潜在的なリークに浸透し、煙が炉から逃げるときに見えるようになります。
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水素リークモニター:周囲雰囲気中の水素リークを検知するための分析器。システムは水素の爆発下限界（LEL）の4分の1のレベル（1% H2）に校正されています。アラームを設定し、リークが検出されると、ソレノイドを介してリーク源を自動的に遮断することができます。
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目視検査:機器の詳細な目視検査は、漏れの原因を突き止めるのに役立ちます。これには、ガスケットが大きな機器部分と小さなサブアセンブリを接続している接続点のチェックが含まれます。塗装の変色やその他の劣化の兆候は、ガスケットの隙間を示し、漏れが発生する可能性があります。
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フィルム（シャボン玉）漏れ検知:この方法は、高圧不活性ガスの漏れを簡単かつ迅速に検出します。漏れを示す液体を疑わしい部分にスプレーし、気泡が発生すれば漏れが確認されます。
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真空リーク検査:この方法はより正確で、液体窒素または液体アルゴンの貯蔵システムを真空炉から隔離します。その後、システムを排気して真空状態にする。システム内のリークを検出するためにヘリウム質量分析計が使用される。このプロセスには、外部ガスシステムの切り離し、炉の排気、貯蔵タンクの減圧、経験豊富なスタッフによるシステムの安全操作など、慎重な手順が必要です。
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予防措置:空気漏れやガス漏れを防ぐには、真空チャンバーの端面やシール面の平坦性を確保することが極めて重要である。さらに、フランジの取り付けを含むガスフローシステムの気密性をテストし、不活性ガスでこれらのシステムをパージすることは、漏れを防ぐのに役立ちます。
これらの方法はそれぞれ特定の目的を果たすものであり、漏れの性質や発生環境に応じて選択することができる。適切なメンテナンスと定期的な点検は、漏れの早期発見と防止にも役立ちます。
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